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ZnS低温热氧化制备ZnO薄膜及其物性的研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
目录第5-6页
第一章 引言第6-10页
   ·ZnO材料的基本性质第6-7页
   ·ZnO材料的研究进展第7-9页
   ·本论文拟解决的问题第9-10页
第二章 ZnO薄膜材料的实验室制备及表征方法第10-18页
   ·样品制备第10-13页
     ·电子束沉积设备的原理及结构第10-13页
   ·样品的分析和表征手段第13-18页
     ·X-射线衍射谱第13-14页
     ·微区光致发光光谱第14-15页
     ·微区共振拉曼谱仪及原理第15-18页
第三章 ZnS低温热热氧化制备ZnO薄膜的结构及发光性质研究第18-24页
   ·ZnS低温热氧化制备ZnO薄膜第18页
   ·ZnO薄膜的结构性质第18-20页
   ·ZnO的发光特性第20-23页
   ·结论第23-24页
第四章 等离子辅助制备ZnS薄膜以及低温氧化得到ZnO薄膜拉曼散射的研究第24-30页
   ·实验部分第24页
   ·结果与讨论第24-28页
   ·结论第28-30页
第五章 结论第30-31页
参考文献第31-35页
在学期间发表论文第35-36页
致谢第36页

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