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氧化锌薄膜电学特性的研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
目录第5-6页
引言第6-9页
第一章 ZnO 薄膜制备方法及表征手段第9-19页
   ·ZnO 薄膜的制备技术第9-13页
     ·分子束外延(MBE)第9-10页
     ·磁控溅射技术第10-11页
     ·电子束蒸发第11-13页
   ·相关表征手段第13-18页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第13-15页
     ·微区光致发光谱第15-16页
     ·电学特性测量方法-霍尔效应及HMS7707第16-18页
 本章小结第18-19页
第二章 N 型ZnO 的光电特性第19-27页
   ·未故意掺杂的N 型ZnO 光电特性第20-22页
   ·N 掺杂的N 型ZnO 光电特性第22-26页
 本章小结第26-27页
第三章 p 型ZnO 薄膜中的持久n 型光电导及其欧姆接触第27-36页
   ·p 型ZnO 薄膜中的持久n 型光电导第27-33页
     ·霍尔效应的基本方程第28-29页
     ·深能级缺陷对p 型ZnO 薄膜电学性质的影响第29-33页
   ·Ni/Au 与N 掺杂p 型ZnO 的欧姆接触第33-35页
 本章小结第35-36页
结语第36-37页
参考文献第37-42页
后记第42页

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