立式非接触测长仪的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| §1．1 引言 | 第7-8页 |
| §1．2 课题的研究目的及意义 | 第8-9页 |
| §1．3 国内外研究现状 | 第9-10页 |
| §1．4 本文研究内容 | 第10-11页 |
| 第二章 仪器总体结构设计 | 第11-14页 |
| §2．1 总体设计思想 | 第11页 |
| §2．2 系统的组成与总体结构的布局 | 第11-14页 |
| 第三章 激光检测系统设计 | 第14-26页 |
| §3．1 激光三角测量原理 | 第14-18页 |
| §3．2 光源的选择 | 第18页 |
| §3．3 半导体激光器的准直 | 第18-19页 |
| §3．4 PSD的选择 | 第19-21页 |
| §3．5 激光三角测头的总体结构 | 第21-22页 |
| §3．6 测试结果与误差分析 | 第22-26页 |
| 第四章 光栅位移检测系统的设计 | 第26-35页 |
| §4．1 概述 | 第26页 |
| §4．2 莫尔条纹原理 | 第26-28页 |
| §4．3 光栅系统的结构及其选用 | 第28-30页 |
| §4．4 莫尔(干涉)条纹细分技术 | 第30-35页 |
| 第五章 精密机械系统设计 | 第35-39页 |
| §5．1 导轨机构 | 第35-37页 |
| §5．2 螺旋传动机构 | 第37页 |
| §5．3 齿轮传动机构 | 第37-39页 |
| 第六章 控制系统设计 | 第39-51页 |
| §6．1 闭环伺服控制系统的设计 | 第39-42页 |
| §6．2 单片机控制系统和相应的处理电路 | 第42-47页 |
| §6．3 采用PSD的测量系统电路 | 第47-48页 |
| §6．4 测头控制系统的设计 | 第48页 |
| §6．5 光栅控制系统的设计 | 第48-49页 |
| §6．6 数据采集及处理系统 | 第49-51页 |
| 第七章 误差分析 | 第51-61页 |
| §7．1 测头误差分析 | 第51-52页 |
| §7．2 光栅位移测量系统的误差分析 | 第52-53页 |
| §7．3 精密机械系统的误差分析 | 第53-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 长春理工大学硕士学位论文原创性声明 | 第65页 |
| 长春理工大学学位论文版权使用授权书 | 第65页 |
