| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·综述 | 第11页 |
| ·物理学的进展是红外探测器的基础 | 第11-14页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第14-15页 |
| ·本课题的目的和研究内容 | 第15-16页 |
| ·论文的具体安排 | 第16-17页 |
| ·参考文献 | 第17-18页 |
| 第二章 有限元理论 | 第18-30页 |
| ·前言 | 第18-19页 |
| ·有限元方法介绍 | 第19-21页 |
| ·温度场问题的描述 | 第21-26页 |
| ·应力应变场的描述 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29页 |
| ·参考文献 | 第29-30页 |
| 第三章 量子阱红外探测器焦平面铟柱互连的模拟与优化 | 第30-43页 |
| ·集成读出电路(ROIC)与探测器集成形式 | 第30页 |
| ·研究方向 | 第30-31页 |
| ·铟柱的受力分析 | 第31-33页 |
| ·有限元模型及材料特性 | 第33页 |
| ·有限元模拟步骤 | 第33-35页 |
| ·有限元求解结果及讨论 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| ·参考文献 | 第41-43页 |
| 第四章 量子阱与读出电路组合焦平面热传导分析 | 第43-51页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·热传导微分方程式 | 第44-45页 |
| ·ANSYS模拟 | 第45-47页 |
| ·工艺优化和改进措施 | 第47-48页 |
| ·改进工艺的温度场数值模拟 | 第48-49页 |
| ·理论计算 | 第49页 |
| ·本章小节 | 第49页 |
| ·参考文献 | 第49-51页 |
| 第五章 量子阱红外探测器及其读出电路 | 第51-60页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·暗电流 | 第52-53页 |
| ·光电流 | 第53页 |
| ·QWIP的PSPICE模型与模拟结果 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| ·参考文献 | 第58-60页 |
| 第六章 非致冷双材料MEMS红外探测器物理特性模拟分析 | 第60-73页 |
| ·引言 | 第60-61页 |
| ·双材料特性分析 | 第61-65页 |
| ·探测器对温度的响应 | 第65-66页 |
| ·探测器对红外辐射的响应 | 第66-68页 |
| ·探测器灵敏度计算 | 第68-69页 |
| ·热学参数与噪声等效温差 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71页 |
| ·参考文献 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第74页 |