基于温度场半反馈控制的纳米级热驱动部件系统研究

中文摘要	第1-5页
英文摘要	第5-7页
目录	第7-9页
第一章 绪论	第9-19页
·超精密加工技术现状及关键技术研究	第9-13页
·超精密加工技术的未来发展趋势	第13-16页
·本课题提出及论文总体安排	第16-19页
第二章 大进给力纳米级驱动部件系统试验分析与设计	第19-29页
·超精密加工中微位移机构分析	第19-24页
·基于热变形的主动补偿方案设计	第24-26页
·热驱动部件系统的试验平台分析设计	第26-28页
·本章小结	第28-29页
第三章 热驱动部件温度场测控系统设计	第29-43页
·虚拟仪器思想应用	第29-31页
·温度场测控系统总体设计	第31-33页
·温度场测控系统各关键模块的介绍	第33-42页
·本章小结	第42-43页
第四章 热驱动部件温度场半反馈控制研究	第43-58页
·热驱动部件温度场数学模型建立	第43-48页
·热驱动部件温度场和位移场变化规律的分析	第48-50页
·热驱动部件温度场控制算法研究及试验分析	第50-57页
·本章小结	第57-58页
第五章 热驱动部件在纳米级进给系统中应用研究	第58-73页
·基于热驱动部件纳米级加工系统仿真软件构架	第58-59页
·纳米级进给系统的关键部件模型建立和算法分析	第59-68页
·VC与Matlab混合编程技术	第68-72页
·本章小结	第72-73页
第六章 结论和展望	第73-75页
参考文献	第75-82页
攻读硕士学位期间完成的科研论文	第82-83页
致谢	第83页