| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-13页 |
| 引言 | 第13-15页 |
| 第一章 氮化碳(C_3N_4)超硬涂层材料 | 第15-31页 |
| ·硬质涂层材料 | 第15-18页 |
| ·硬度与体弹模量 | 第18-21页 |
| ·氮化碳的相结构和电子结构 | 第21-27页 |
| ·超晶格结构 | 第27-31页 |
| 第二章 氮化碳涂层的磁控溅射制备 | 第31-45页 |
| ·磁控溅射 | 第31-34页 |
| ·反应磁控溅射 | 第34-37页 |
| ·直流反应磁控溅射 | 第34-36页 |
| ·中频脉冲反应磁控溅射 | 第36-37页 |
| ·氮化碳涂层的制备 | 第37-39页 |
| ·实验装置 | 第37-38页 |
| ·实验方法 | 第38-39页 |
| ·物性测量 | 第39-43页 |
| ·CN_x薄膜成分分析 | 第39-40页 |
| ·CN_x薄膜结构分析 | 第40-43页 |
| ·CN_x薄膜傅立叶红外(FTIR)分析 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 多弧-磁控溅射制备CNx／TiN纳米复合涂层 | 第45-57页 |
| ·多弧离子镀 | 第45-46页 |
| ·CNx／TiN纳米复合涂层 | 第46-47页 |
| ·多弧-磁控溅射沉积装置 | 第46-47页 |
| ·制备工艺 | 第47页 |
| ·CNx／TiN纳米复合涂层的物性测量 | 第47-50页 |
| ·XPS分析 | 第47-48页 |
| ·XRD分析 | 第48页 |
| ·结构和形貌 | 第48-49页 |
| ·硬度和附着力 | 第49-50页 |
| ·CNx／TiN涂层工具工业应用 | 第50-55页 |
| ·CNx／TiN涂层刀具应用 | 第50-54页 |
| ·CNx／TiN涂层模具应用 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 CNx／TiN纳米复合涂层的摩擦磨损性能研究 | 第57-77页 |
| ·材料磨损 | 第57-63页 |
| ·磨损原理 | 第57-61页 |
| ·弹性接触理论与临界载荷 | 第61-63页 |
| ·样品制备与测试 | 第63-64页 |
| ·镀膜工艺 | 第63页 |
| ·硬度和附着力 | 第63-64页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第64-76页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第64-65页 |
| ·试验结果 | 第65-71页 |
| ·SEM分析 | 第71-76页 |
| ·小结 | 第76-77页 |
| 第五章 CNx／TiN涂层的水蚀试验 | 第77-95页 |
| ·水蚀机理 | 第77-80页 |
| ·抗水蚀涂层 | 第80-85页 |
| ·基体材料 | 第81-82页 |
| ·CNx／TiN涂层的组成及结构 | 第82页 |
| ·涂层性能测试 | 第82-84页 |
| ·涂层的表面与界面 | 第84-85页 |
| ·水蚀试验装置 | 第85-86页 |
| ·水蚀试验 | 第86-93页 |
| ·不锈钢基体 | 第86-87页 |
| ·钴基合金 | 第87-89页 |
| ·纳米超晶格涂层 | 第89-93页 |
| ·纳米超晶格涂层的水蚀失效机理 | 第93-94页 |
| ·小结 | 第94-95页 |
| 第六章 结论 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-103页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104页 |