| 1 综述 | 第1-15页 |
| 1．1 尘埃等离子体简介 | 第7-8页 |
| 1．2 尘埃等离子体的研究近况 | 第8-11页 |
| 1．2．1 等离子体加工过程中的粒子行为的研究 | 第9页 |
| 1．2．2 尘埃等离子体晶格 | 第9-10页 |
| 1．2．3 尘埃等离子体波 | 第10-11页 |
| 1．3 尘埃等离子体的基本研究方法 | 第11-14页 |
| 1．3．1 理论研究方法 | 第11-12页 |
| 1．3．2 尘埃等离子体的数值计算和模拟研究 | 第12-13页 |
| 1．3．3 尘埃等离子体的实验研究 | 第13-14页 |
| 1．4 本人主要工作介绍 | 第14-15页 |
| 2 尘埃粒子的充电 | 第15-18页 |
| 2．1 尘埃粒子的充电过程 | 第17页 |
| 2．2 尘埃粒子携带的电荷 | 第17-18页 |
| 3 低气压无碰撞辉光放电正柱区尘埃等离子体密度径向分布 | 第18-29页 |
| 3．1 基本模型 | 第19-20页 |
| 3．2 数值计算方法 | 第20-22页 |
| 3．3 数值计算结果及讨论 | 第22-28页 |
| 3．4 小结 | 第28-29页 |
| 4 尘埃粒子的充电效应对等离子体源离子注入鞘层过程中鞘层时空演化的影响 | 第29-39页 |
| 4．1 基本模型 | 第30-32页 |
| 4．1．1 离子点阵鞘层 | 第30-31页 |
| 4．1．2 鞘层的时空演化 | 第31-32页 |
| 4．2 数值计算方法 | 第32-34页 |
| 4．2．1 流体力学运动方程求解方法 | 第32-33页 |
| 4．2．2 非线性泊松方程求解方法 | 第33-34页 |
| 4．3 数值计算结果及讨论 | 第34-38页 |
| 4．4 小结 | 第38-39页 |
| 5 尘埃粒子在极板有高能电子束发射辉光放电鞘层中的充电与悬浮 | 第39-47页 |
| 5．1 鞘层模型 | 第39-40页 |
| 5．2 鞘层中尘埃粒子的充电模型 | 第40-41页 |
| 5．3 尘埃粒子的受力分析 | 第41-42页 |
| 5．4 计算结果及讨论 | 第42-46页 |
| 5．5 小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
