MWECR CVD系统及BN薄膜生长与特性研究
| 第一章 绪论 | 第1-38页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| BN的研究 | 第10-26页 |
| BN的结构 | 第26-27页 |
| BN的相关系 | 第27-31页 |
| 参考文献 | 第31-38页 |
| 第二章 MWECR沉积系统与等离子体测试 | 第38-77页 |
| 前言 | 第38页 |
| 第一节 等离子体基本常数与特性 | 第38-43页 |
| 第二节 ECR原理 | 第43-49页 |
| 第三节 ECR等离子体沉积系统介绍 | 第49-52页 |
| 第四节 等离子体测试与本系统的测试 | 第52-74页 |
| 小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 第三章 ECR CVD系统制备hBN薄膜 | 第77-110页 |
| 第一节 BN薄膜的结构与表征 | 第80-90页 |
| 第二节 hBN的取向生长 | 第90-107页 |
| 小结 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-110页 |
| 第四章 hBN的特性研究 | 第110-124页 |
| 第一节 hBN的Raman偏振光谱研究 | 第110-115页 |
| 第二节 光学特性 | 第115-123页 |
| 参考文献 | 第123-124页 |
| 第五章 cBN的热丝辅助ECR CVD沉积 | 第124-148页 |
| 第一节 引言 | 第124-127页 |
| 第二节 实验 | 第127-128页 |
| 第三节 结果与讨论 | 第128-135页 |
| 第四节 影响cBN形成的因素 | 第135-144页 |
| 小结 | 第144-145页 |
| 参考文献 | 第145-148页 |
| 结论 | 第148-150页 |
| 博士期间发表的论文 | 第150-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
