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离子注入结合热退火方法制备SiO2:Er薄膜及其微结构和光学特性研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-7页
第一章 引言第7-13页
   ·研究意义第7-8页
   ·铒离子的发光特性第8-9页
   ·铒掺杂SiO_2 的研究进展第9-13页
第二章 实验原理与实验仪器第13-22页
   ·离子注入简介第13-16页
     ·离子注入装置及原理第13-15页
     ·离子注入所引起的主要缺陷第15-16页
   ·高温退火设备简介第16-17页
   ·样品表征及测试技术第17-22页
     ·透射—反射谱第17-18页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第18-20页
     ·微区光致发光谱第20-22页
第三章 样品制备及其微结构和光学特性研究第22-32页
   ·利用离子注入及后退火方法制备Er掺杂SiO_2第22页
   ·拉曼光谱测试及分析第22-23页
   ·X 射线光电子能谱测试及分析第23-24页
   ·透射—反射谱分析第24-25页
   ·室温下的光致发光光谱分析第25-27页
   ·变温光致发光光谱分析第27-32页
第四章 结论第32-33页
参考文献第33-36页
致谢第36-37页
在学期间公开发表论文及著作情况第37页

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