氮化铝陶瓷及其表面金属化研究
摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-10页 |
第一章 绪论 | 第10-37页 |
·氮化铝陶瓷概述 | 第10-14页 |
·AlN陶瓷基本性质 | 第10页 |
·AlN陶瓷特性 | 第10-12页 |
·AlN陶瓷发展 | 第12-14页 |
·AlN陶瓷工艺、结构与性能 | 第14-18页 |
·AlN陶瓷制备工艺 | 第14-15页 |
·AlN晶体结构 | 第15-17页 |
·AlN陶瓷性能 | 第17-18页 |
·氮化铝陶瓷基础研究 | 第18-26页 |
·氮化铝的导热机理 | 第18-19页 |
·获得高导热氮化铝陶瓷的途径 | 第19-22页 |
·影响氮化铝陶瓷性能的因素 | 第22-25页 |
·氮化铝陶瓷的烧结理论 | 第25-26页 |
·AlN陶瓷金属化 | 第26-32页 |
·AlN陶瓷的金属化方法 | 第26页 |
·厚膜金属化及附着机理 | 第26-28页 |
·AlN厚膜金属化的研究 | 第28-32页 |
·氮化铝陶瓷应用 | 第32-36页 |
·多芯片模块 | 第32页 |
·微波功率放大器 | 第32-33页 |
·激光二极管载体 | 第33-34页 |
·蝶形封装 | 第34页 |
·LED封装 | 第34-35页 |
·高温半导体封装 | 第35-36页 |
·论文选题 | 第36-37页 |
第二章 实验过程及测试 | 第37-46页 |
·原料与设备 | 第37-39页 |
·实验用主要原料 | 第37-38页 |
·主要实验设备 | 第38-39页 |
·制备工艺 | 第39-41页 |
·氮化铝陶瓷工艺 | 第39-40页 |
·氮化铝金属化工艺 | 第40-41页 |
·性能评价 | 第41-44页 |
·氮化铝陶瓷性能表征 | 第41-42页 |
·金属化性能表征 | 第42-44页 |
·测试分析 | 第44-46页 |
·热导率测试 | 第44页 |
·粘度测试 | 第44-45页 |
·热重分析 | 第45页 |
·表面电阻测试 | 第45页 |
·附着强度测试 | 第45-46页 |
第三章 高导热氮化铝陶瓷研究 | 第46-67页 |
·氮化铝陶瓷粉体 | 第46-53页 |
·氮化铝粉 | 第46页 |
·氮化铝粉体特性 | 第46-50页 |
·粉体对陶瓷工艺及性能的影响 | 第50-53页 |
·氮化铝烧结助剂 | 第53-61页 |
·烧结助剂设计 | 第53-56页 |
·烧结助剂对陶瓷烧结行为及热性能的影响 | 第56-60页 |
·显微结构 | 第60页 |
·相组成 | 第60-61页 |
·氮化铝基片工艺 | 第61-67页 |
·氮化铝流延工艺 | 第61-63页 |
·排胶工艺 | 第63页 |
·烧结工艺 | 第63-67页 |
第四章 玻璃结合氮化铝陶瓷厚膜金属化研究 | 第67-91页 |
·玻璃相设计 | 第67-69页 |
·金属化浆料 | 第69-71页 |
·玻璃粉 | 第69-70页 |
·有机载体 | 第70页 |
·浆料 | 第70-71页 |
·金属化形成 | 第71-73页 |
·丝网印刷金属化 | 第71-72页 |
·金属化烧结 | 第72-73页 |
·厚膜金属化玻璃料制备与性能 | 第73-85页 |
·正硅酸乙酯的水解-缩聚机理 | 第74-75页 |
·钡源的引入及可溶性 | 第75-76页 |
·水量、超声及pH值对凝胶化的影响 | 第76-79页 |
·干胶粉煅烧 | 第79-80页 |
·玻璃与基板润湿性 | 第80-84页 |
·玻璃料的显微结构 | 第84-85页 |
·玻璃结合氮化铝厚膜金属化 | 第85-91页 |
·浆料粘度与流变性 | 第85-86页 |
·烧结温度与金属化结构 | 第86-88页 |
·玻璃含量与金属化性能 | 第88-91页 |
第五章 反应结合氮化铝厚膜金属化研究 | 第91-116页 |
·浆料组成 | 第91-95页 |
·反应结合剂 | 第91-92页 |
·导电相 | 第92-95页 |
·有机结合剂 | 第95页 |
·浆料 | 第95-102页 |
·浆料制备 | 第95-96页 |
·浆料流变性 | 第96-97页 |
·浆料粘度控制 | 第97-98页 |
·银浆料的差热分析 | 第98-99页 |
·金属化层膜厚控制 | 第99-102页 |
·反应结合氮化铝Ag厚膜金属化 | 第102-116页 |
·氮化铝基片 | 第102-103页 |
·烧结 | 第103页 |
·粘结剂 | 第103-108页 |
·烧结优化 | 第108-113页 |
·金属化结合机理 | 第113-116页 |
第六章 结论 | 第116-118页 |
参考文献 | 第118-123页 |
发表论文和科研情况说明 | 第123-124页 |
致谢 | 第124页 |