溶胶—凝胶法制备p型ZnO薄膜
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-25页 |
| ·ZnO 的基本性质与应用 | 第11-19页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·ZnO 的能带结构 | 第12-15页 |
| ·ZnO 的掺杂 | 第15-18页 |
| ·ZnO 的应用 | 第18-19页 |
| ·ZnO 的制备方法 | 第19-24页 |
| ·磁控溅射 | 第19-20页 |
| ·分子束外延 | 第20-22页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第22-23页 |
| ·化学气相沉积 | 第23-24页 |
| ·本文研究的目的及内容 | 第24-25页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备与表征 | 第25-38页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第25-29页 |
| ·溶胶-凝胶过程的主要反应 | 第26-27页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜 | 第27页 |
| ·溶胶-凝胶法的特点 | 第27-29页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第29-32页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第30-31页 |
| ·衬底处理 | 第31-32页 |
| ·溶胶的制备 | 第32页 |
| ·涂膜与热处理 | 第32页 |
| ·样品的检测与表征 | 第32-38页 |
| ·X 射线衍射 | 第32-34页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第34-35页 |
| ·紫外-可见光谱 | 第35-36页 |
| ·霍尔效应测试 | 第36-38页 |
| 第三章 Na 掺杂对ZnO 薄膜性能的影响 | 第38-51页 |
| ·Na 掺杂源的选择 | 第38-39页 |
| ·Na 掺杂浓度对ZnO 薄膜的影响 | 第39-44页 |
| ·Na 掺杂浓度对ZnO 薄膜结构的影响 | 第39-41页 |
| ·Na 掺杂浓度对ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第41-42页 |
| ·Na 掺杂浓度对ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第42-44页 |
| ·Na 掺杂浓度对ZnO 薄膜电学性能的影响 | 第44页 |
| ·退火温度对Na 掺杂ZnO 薄膜的影响 | 第44-51页 |
| ·退火温度对Na 掺杂ZnO 薄膜结构的影响 | 第45-46页 |
| ·退火温度对Na 掺杂ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第46-47页 |
| ·退火温度对Na 掺杂ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第47-49页 |
| ·退火温度对Na 掺杂ZnO 薄膜电学性能的影响 | 第49-51页 |
| 第四章 P 掺杂对ZnO 薄膜性能的影响 | 第51-63页 |
| ·P 掺杂源的选择 | 第51页 |
| ·P 掺杂浓度对ZnO 薄膜的影响 | 第51-57页 |
| ·P 掺杂浓度对ZnO 薄膜结构的影响 | 第51-53页 |
| ·P 掺杂浓度对ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第53-55页 |
| ·P 掺杂浓度对ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第55-56页 |
| ·P 掺杂浓度对ZnO 薄膜电学性能的影响 | 第56-57页 |
| ·退火温度对P 掺杂ZnO 薄膜的影响 | 第57-63页 |
| ·退火温度对p 掺杂ZnO 薄膜结构的影响 | 第57-59页 |
| ·退火温度对P 掺杂ZnO 薄膜表面形貌的影响 | 第59页 |
| ·退火温度对P 掺杂ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第59-61页 |
| ·退火温度对P 掺杂ZnO 薄膜电学性能的影响 | 第61-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 在学研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
