40kW中频脉冲溅射电源设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 课题背景与电源总体设计 | 第11-18页 |
| ·磁控溅射的分类及目前研究现状 | 第11-12页 |
| ·脉冲磁控溅射技术 | 第12-13页 |
| ·脉冲磁控溅射对电源要求 | 第13-14页 |
| ·电源各项指标 | 第14页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第14-15页 |
| ·电源的系统设计 | 第15-18页 |
| 第2章 辅助电源设计与驱动电路设计 | 第18-27页 |
| ·辅助电源的设计 | 第18-24页 |
| ·开关电源部分 | 第18-23页 |
| ·线性电源部分 | 第23-24页 |
| ·驱动电路的设计 | 第24-27页 |
| 第3章 主电路的设计 | 第27-49页 |
| ·可控硅全桥整流电路 | 第27-29页 |
| ·可控硅的选择 | 第27页 |
| ·Tr6B-2A的各项技术性能 | 第27页 |
| ·可控硅整流器实现 | 第27-29页 |
| ·开关管的选择 | 第29-30页 |
| ·IGBT的原理及特点 | 第29-30页 |
| ·本电源功率开关管选取 | 第30页 |
| ·软开关模式选择 | 第30-33页 |
| ·移相控制方式实现ZVS的原理 | 第33-37页 |
| ·高频变压器的设计 | 第37-43页 |
| ·变压器磁芯的选型 | 第38-39页 |
| ·绕组导体截面积计算 | 第39页 |
| ·变压器原副边匝数计算 | 第39-40页 |
| ·磁心窗口校核 | 第40页 |
| ·变压器损耗计算 | 第40-41页 |
| ·温升计算 | 第41-43页 |
| ·隔直电容值的计算 | 第43-44页 |
| ·谐振电容的确定 | 第44页 |
| ·谐振电感的设计 | 第44-48页 |
| ·电感值的计算 | 第44-45页 |
| ·谐振电感磁芯的选择 | 第45-48页 |
| ·电流互感器 | 第48-49页 |
| 第4章 控制、检测、保护的设计 | 第49-69页 |
| ·UC3875的外围电路的设计 | 第49-52页 |
| ·UC3875电气特性 | 第49-50页 |
| ·UC3875电路设计说明 | 第50-52页 |
| ·检测电路的设计 | 第52-54页 |
| ·电压、电流显示的检测电路 | 第52-53页 |
| ·占空比显示的检测电路 | 第53-54页 |
| ·显示部分软硬件的设计 | 第54-58页 |
| ·ATMega8L介绍 | 第54-55页 |
| ·显示电路的设计 | 第55-56页 |
| ·显示电路的软件设计 | 第56-58页 |
| ·监控单片机硬件与软件的设计 | 第58-65页 |
| ·硬件设计 | 第59页 |
| ·软件设计 | 第59-65页 |
| ·保护电路的设计 | 第65-69页 |
| ·直通保护的设计 | 第65-66页 |
| ·输出过电流保护设计 | 第66-67页 |
| ·变压器原边过电流保护 | 第67-68页 |
| ·过热保护 | 第68-69页 |
| 第5章 系统的测试 | 第69-74页 |
| ·波形分析 | 第69-71页 |
| ·数据测量与效率评估 | 第71-74页 |
| ·数据测量 | 第71-72页 |
| ·实验测试数据与效率评估 | 第72-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 附录A 电源的部分原理图 | 第79-81页 |
| 附录B 可控硅触发板接线简图 | 第81-82页 |
| 附录C 实物图 | 第82-83页 |
| 攻读学位论文期间公开发表论文 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
