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激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究

摘要第1-5页
Abstract第5-11页
第一章 绪论第11-18页
   ·钛及钛合金的应用第11-12页
   ·钛及钛合金微细加工技术第12-15页
     ·微细切削加工技术第12-13页
     ·微细特种加工技术第13-15页
   ·激波及其应用第15-16页
   ·本文的主要研究工作第16-18页
第二章 激波辅助纯钛光刻电解加工机理第18-29页
   ·光刻加工工艺第18-19页
   ·电解加工基本原理及工艺基础第19-22页
     ·电解加工及特点第19-20页
     ·法拉第定律第20-21页
     ·阳极极化第21-22页
   ·光刻电解加工第22-26页
     ·光刻电解加工过程及特点第22-24页
     ·有限元电场分析第24-26页
   ·激波辅助加工机理第26-28页
   ·本章小结第28-29页
第三章 试验系统组建第29-40页
   ·试验系统介绍第29-30页
   ·光刻单元第30-31页
   ·电解加工单元第31-34页
     ·加工电源第31-32页
     ·电解液第32-34页
   ·激波发生器单元第34-39页
     ·激励电源第35-37页
     ·超声换能器第37-39页
   ·本章小结第39-40页
第四章 工艺试验第40-56页
   ·光刻工艺第40-44页
   ·电解工艺第44-53页
     ·基本参数第44-48页
       ·电极间距第44-45页
       ·电参数第45-46页
       ·电解液第46-48页
     ·激波对加工试验的作用第48-53页
       ·激波压力特性测试第48-50页
       ·加工精度及均一性第50-51页
       ·加工效率第51-52页
       ·表面质量第52-53页
   ·本章小结第53-56页
第五章 研究总结与展望第56-57页
参考文献第57-61页
致谢第61-62页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第62页

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