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金属硒化物薄膜的电沉积制备及基础理论研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第一章 绪论第12-31页
   ·金属硒化物半导体薄膜概述第12-17页
     ·硒的特性简介第12-13页
     ·金属硒化物材料的结构特性与应用第13-17页
   ·金属硒化物半导体薄膜的制备方法第17-21页
     ·蒸发法第18页
     ·溅射法第18-19页
     ·分子束外延第19页
     ·化学气相沉积法第19-20页
     ·喷雾热分解法第20页
     ·溶胶-凝胶法第20-21页
     ·电沉积法第21页
   ·电沉积金属硒化物薄膜的研究进展第21-29页
     ·电沉积法的技术特点第22-24页
     ·电沉积法金属硒化物薄膜制备中的工艺技术研究进展第24-26页
     ·电沉积金属硒化物的热力学与动力学研究进展第26-29页
   ·选题目标与研究内容第29-31页
第二章 实验方法第31-36页
   ·实验试剂第31页
   ·实验仪器第31-32页
   ·溶液体系第32-34页
   ·电化学测试与电沉积制备第34-35页
   ·薄膜表征第35-36页
第三章 金属硒化物电沉积的热力学基础研究第36-49页
   ·引言第36页
   ·研究方法第36-37页
   ·结果与讨论第37-48页
     ·Se-H_2O系电势-pH图第37-39页
     ·金属-硒-水系电势-pH图原则图第39-44页
     ·典型金属-硒-水系电势-pH图第44-48页
   ·本章小结第48-49页
第四章 Se电沉积的电化学行为研究第49-65页
   ·前言第49-50页
   ·Se电沉积的循环伏安分析第50-54页
   ·Se电沉积的计时安培分析第54-58页
   ·温度、pH和亚硒酸浓度对Se电沉积电化学行为的影响第58-64页
     ·温度对Se电沉积电化学行为的影响第58-59页
     ·pH对Se电沉积电化学行为的影响第59-61页
     ·亚硒酸浓度对Se电沉积电化学行为的影响第61-64页
   ·本章小结第64-65页
第五章 CoSe薄膜的电沉积第65-84页
   ·引言第65页
   ·Co-Se薄膜电化学共沉积机理第65-69页
   ·沉积工艺对薄膜成分、形貌与结构的影响第69-78页
     ·沉积电势对薄膜成分、形貌与结构的影响第69-72页
     ·沉积温度对薄膜成分、形貌与结构的影响第72-74页
     ·pH值对薄膜成分、形貌与结构的影响第74-78页
   ·CoSe薄膜的光学与电学性能第78-83页
   ·本章小结第83-84页
第六章 Sb_2Se_3薄膜的电沉积第84-108页
   ·引言第84-85页
   ·Sb-Se电化学共沉积机理第85-88页
     ·沉积工艺对薄膜成分、形貌与结构的影响第88-102页
     ·沉积电势对薄膜成分、形貌与结构的影响第88-92页
     ·沉积温度对薄膜成分、形貌与结构的影响第92-93页
     ·pH值对薄膜成分、形貌与结构的影响第93-97页
     ·主盐浓度对薄膜成分与形貌的影响第97-99页
     ·热处理对薄膜成分、形貌与结构的影响第99-102页
   ·Sb_2Se_3薄膜的光学与电学性能第102-107页
   ·本章小结第107-108页
第七章 Cu(In,Ga)Se_2薄膜的电沉积第108-145页
   ·前言第108页
   ·Cu-In-Ga-Se电化学共沉积机理第108-109页
   ·第109-125页
     ·CV和Raman研究In、Ga并入机制第109-118页
     ·络合剂对电沉积CIGS的影响第118-125页
   ·沉积工艺对电沉积CIGS成分、形貌与结构的影响第125-137页
     ·沉积电势对CIGS薄膜形貌与结构的影响第125-127页
     ·主盐浓度对CIGS薄膜成分与形貌的影响第127-132页
     ·沉积温度对Cu(In,Ga)Se_2薄膜成分、形貌和结构的影响第132-136页
     ·pH值对Cu(In,Ga)Se_2薄膜成分和形貌的影响第136-137页
   ·电沉积Cu(In,Ga)Se_2薄膜的热处理研究第137-144页
   ·本章小结第144-145页
第八章 金属硒化物电沉积动力学的模型建立与应用第145-171页
   ·引言第145页
   ·结点选择模型的建立与推导第145-154页
     ·二元体系第145-149页
     ·三元体系第149-152页
     ·n元体系第152-154页
   ·模型的应用第154-169页
     ·Sb_2Se_3二元体系中的应用第154-160页
     ·CuInSe_2三元体系中的应用第160-169页
   ·本章小结第169-171页
第九章 结论与展望第171-173页
参考文献第173-192页
攻读博士学位期间的主要成果第192-195页
致谢第195页

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