微细电火花集成加工技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-34页 |
| ·引言 | 第16-17页 |
| ·微细加工技术的发展 | 第17-20页 |
| ·硅微细加工技术 | 第17页 |
| ·LIGA 加工技术 | 第17-18页 |
| ·基于传统加工和特种加工的微细加工技术 | 第18-20页 |
| ·微细电火花工技术的发展 | 第20-24页 |
| ·微细电火花磨削加工 | 第20-21页 |
| ·微细电火花钻孔加工 | 第21-22页 |
| ·微细电火花铣削加工 | 第22页 |
| ·微细电火花线切割加工 | 第22-24页 |
| ·微细电火花集成加工技术的发展 | 第24-32页 |
| ·微细电火花加工与其他微细加工技术的集成 | 第25-28页 |
| ·微细电火花自集成加工技术的发展 | 第28-30页 |
| ·微细电火花多功能加工装置的发展 | 第30-32页 |
| ·课题的来源及研究的目的和意义 | 第32-33页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第33-34页 |
| 第2章 微细电火花集成加工基础及相关装置的研究 | 第34-48页 |
| ·微细电火花集成加工基础的研究 | 第34-37页 |
| ·微细电火花加工的机理及特点 | 第34-35页 |
| ·微细电火花集成加工的必要性分析 | 第35-36页 |
| ·微细电火花集成加工的工艺条件 | 第36-37页 |
| ·微细电火花集成加工装置的设计与研制 | 第37-46页 |
| ·微细电火花集成加工装置的总体方案 | 第38-40页 |
| ·微能脉冲电源的设计 | 第40-41页 |
| ·伺服系统的设计 | 第41-43页 |
| ·微细电极制作装置的设计 | 第43-44页 |
| ·走丝系统的设计 | 第44-46页 |
| ·工作液循环系统的设计 | 第46页 |
| ·微细电火花集成加工的装置的实现 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 微细电火花铣削及反拷加工精度的研究 | 第48-68页 |
| ·影响电极损耗的主要因素 | 第48-49页 |
| ·电极对材料性能的影响 | 第48页 |
| ·极性效应的影响 | 第48-49页 |
| ·电脉冲参数与波形的影响 | 第49页 |
| ·极间介质及其供给方式的影响 | 第49页 |
| ·微细电火花加工中的电极损耗 | 第49-50页 |
| ·管电极微细电火花分层铣削的研究 | 第50-60页 |
| ·分层铣削加工中的电极损耗 | 第50-52页 |
| ·管电极在电火花加工中的损耗特性 | 第52-54页 |
| ·管电极微细电火花铣削 | 第54-57页 |
| ·管电极对分层铣削的影响 | 第57-60页 |
| ·微细电火花反拷加工精度的研究 | 第60-67页 |
| ·微细电火花反拷加工的电极损耗 | 第60-61页 |
| ·微细电火花反拷加工的极性效应 | 第61-62页 |
| ·微细电火花加工中碳黑膜的生成条件 | 第62-65页 |
| ·微细电火花反拷加工的加工策略 | 第65-66页 |
| ·微细电火花反拷加工的加工策略 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 微细电火花线切割加工精度的研究 | 第68-99页 |
| ·微细电火花线切割加工的尺寸精度的研究 | 第68-86页 |
| ·微细电火花线切割的加工误差 | 第69-70页 |
| ·微细电火花线切割加工间隙模型的建立 | 第70-82页 |
| ·加工间隙模型的实验验证 | 第82-86页 |
| ·微细电火花线切割加工中工件变形的研究 | 第86-94页 |
| ·微梁结构加工中的变形现象 | 第86-88页 |
| ·微梁加工过程的数值模拟 | 第88-94页 |
| ·低电压电火花线切割加工对精度的影响 | 第94-98页 |
| ·低电压电火花线切割的加工精度 | 第94-96页 |
| ·低电压电火花线切割的加工效率 | 第96-97页 |
| ·微细电火花线切割加工稳定性分析 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第5章 微细电火花集成加工工艺的研究 | 第99-116页 |
| ·微结构的加工方法 | 第99-102页 |
| ·微孔结构的加工方法 | 第99-100页 |
| ·微轴结构的加工方法 | 第100页 |
| ·侧壁结构的加工方法 | 第100-101页 |
| ·复杂三维结构的加工方法 | 第101页 |
| ·微细阵列结构的加工方法 | 第101-102页 |
| ·集成加工工艺路线的制定 | 第102-108页 |
| ·微小零件加工方案设计 | 第103-104页 |
| ·加工方案的筛选条件 | 第104页 |
| ·加工过程的简化和分解 | 第104-105页 |
| ·加工实例 | 第105-108页 |
| ·集成加工中的定位误差 | 第108-115页 |
| ·微细电火花加工的定位误差 | 第109-110页 |
| ·工件装夹的定位误差 | 第110-114页 |
| ·提高定位精度的措施 | 第114-115页 |
| ·本章小结 | 第115-116页 |
| 第6章 微型齿轮减速器的微细电火花集成加工 | 第116-129页 |
| ·微型齿轮减速器的微细加工技术 | 第116-117页 |
| ·微型齿轮减速器的设计 | 第117-119页 |
| ·微型齿轮减速器的结构 | 第117-118页 |
| ·微齿轮齿形的设计 | 第118-119页 |
| ·减速器的微细电火花加工工艺方法 | 第119-127页 |
| ·行星轮和内齿圈加工工艺 | 第119-122页 |
| ·盖板加工工艺 | 第122-124页 |
| ·太阳轮加工工艺 | 第124-125页 |
| ·保持架加工工艺 | 第125-127页 |
| ·微型减速器的装配 | 第127-128页 |
| ·本章小结 | 第128-129页 |
| 结论 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-141页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第141-143页 |
| 致谢 | 第143-144页 |
| 个人简历 | 第144页 |
