| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 研究工作的背景及意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 温度控制基本概念 | 第11-12页 |
| 1.2.2 温度计量技术的发展现状 | 第12页 |
| 1.2.3 干式炉温度控制技术发展现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-17页 |
| 1.3.1 研究工作中的关键问题 | 第16页 |
| 1.3.2 论文章节安排 | 第16-17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-19页 |
| 第二章 温度控制原理 | 第19-32页 |
| 2.1 温度测量原理 | 第19-21页 |
| 2.1.1 温度传感器测温原理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 温度传感器测量补偿方式 | 第20-21页 |
| 2.2 温度控制方式 | 第21-28页 |
| 2.2.1 热电制冷工作原理 | 第22-24页 |
| 2.2.2 半导体制冷器变工况特性分析 | 第24-27页 |
| 2.2.3 半导体制冷器与恒温插块热量交换分析 | 第27-28页 |
| 2.3 经典温度控制算法 | 第28-30页 |
| 2.3.1 PID控制算法 | 第28-29页 |
| 2.3.2 前馈控制算法 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 前馈-反馈复合控制模型 | 第32-39页 |
| 3.1 温度-电流双闭环控制算法 | 第32-35页 |
| 3.1.1 温度外环控制 | 第32-33页 |
| 3.1.2 电流内环控制 | 第33-35页 |
| 3.2 前馈补偿控制算法 | 第35-36页 |
| 3.3 前馈-反馈复合控制算法 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 高精度温度控制硬件电路设计 | 第39-48页 |
| 4.1 高精度温度控制电路分析 | 第39-40页 |
| 4.2 高精度温度控制电路总体硬件设计 | 第40-41页 |
| 4.3 大功率TEC驱动电路 | 第41-43页 |
| 4.4 温度测量电路 | 第43-45页 |
| 4.5 反馈电流测量电路 | 第45-46页 |
| 4.6 分段式控温电路 | 第46-47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 高精度温度控制实验与分析 | 第48-60页 |
| 5.1 常温温度控制实验 | 第49-51页 |
| 5.2 温度控制范围与控制精度实验 | 第51-52页 |
| 5.3 控温稳定度实验 | 第52-53页 |
| 5.4 系统负载能力试验 | 第53-55页 |
| 5.5 系统鲁棒性试验 | 第55-56页 |
| 5.6 温度轴向均匀性实验 | 第56-58页 |
| 5.7 高精度干式计量炉温度控制系统设计方案验证与分析 | 第58-59页 |
| 5.8 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录1 温度采集电路原理图 | 第66-67页 |
| 附录2 HIP4082 控制原理图 | 第67-68页 |
| 附录3 H桥驱动电路原理图 | 第68-70页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |