热解碳微电极的表面修饰及电化学性能研究
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-33页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 超级电容器 | 第11-23页 |
| 1.2.1 超级电容器的起源及发展 | 第11-12页 |
| 1.2.2 超级电容器的基础 | 第12-23页 |
| 1.3 微型超级电容器 | 第23-31页 |
| 1.3.1 叉指微型超级电容器 | 第23-28页 |
| 1.3.2 热解光刻胶制备碳基微型超级电容器 | 第28-31页 |
| 1.4 研究方案和意义 | 第31-33页 |
| 第2章 表面修饰碳基微电极微加工工艺的探索 | 第33-45页 |
| 2.1 实验材料及仪器 | 第33-34页 |
| 2.2 实验工艺流程 | 第34-43页 |
| 2.2.1 掩膜版的准备 | 第34-36页 |
| 2.2.2 显影液和电解液的配制 | 第36-38页 |
| 2.2.3 表面修饰碳基微电极的制作 | 第38-43页 |
| 2.3 形貌表征、成分分析及电化学性能测试 | 第43-45页 |
| 2.3.1 形貌表征及成分分析 | 第43-44页 |
| 2.3.2 电化学性能测试 | 第44-45页 |
| 第3章 表面修饰碳基微电极的形貌表征及成分分析 | 第45-56页 |
| 3.1 微电极的形貌表征及成分分析 | 第45-48页 |
| 3.2 微电极的形貌表征和成分分析 | 第48-55页 |
| 3.2.1 微电极光学显微镜形貌表征 | 第48-50页 |
| 3.2.2 微电极SEM形貌表征 | 第50-52页 |
| 3.2.3 微电极热解前后成分分析 | 第52-55页 |
| 3.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 微电极的电化学性能表征及分析 | 第56-65页 |
| 4.1 电化学测试 | 第56-64页 |
| 4.1.1 循环伏安测试 | 第57-62页 |
| 4.1.2 恒流充放电测试 | 第62-63页 |
| 4.1.3 电化学阻抗测试 | 第63-64页 |
| 4.2 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 结论与展望 | 第65-68页 |
| 5.1 结论 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第73页 |
| 硕士期间申请的专利 | 第73页 |
| 硕士期间参与的项目 | 第73页 |
