| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 本文研究的背景和意义 | 第12-16页 |
| 1.1.1 薄膜材料的定义 | 第13页 |
| 1.1.2 薄膜材料的制备 | 第13页 |
| 1.1.3 薄膜材料的应用 | 第13-14页 |
| 1.1.4 薄膜材料的特性 | 第14-15页 |
| 1.1.5 薄膜材料的力学性能研究意义 | 第15-16页 |
| 1.2 薄膜力学性能测试国内外研究现状及发展动态分析 | 第16-21页 |
| 1.2.1 单轴拉伸法 | 第16-18页 |
| 1.2.2 纳米压痕法 | 第18-19页 |
| 1.2.3 鼓膜法 | 第19-21页 |
| 1.3 本文的选题依据和研究内容 | 第21-24页 |
| 1.3.1 本文的选题依据 | 第21-22页 |
| 1.3.2 研究的主要内容 | 第22-24页 |
| 第2章 鼓膜法表征薄膜力学性能的基本原理 | 第24-38页 |
| 2.1 概述 | 第24页 |
| 2.2 鼓膜实验的基本原理 | 第24-26页 |
| 2.3 光学干涉位移测量基本原理 | 第26-28页 |
| 2.3.1 光学干涉原理分析 | 第26-27页 |
| 2.3.2 激光干涉薄膜位移测量系统原理分析 | 第27-28页 |
| 2.4 鼓膜法表征薄膜力学性能理论模型 | 第28-35页 |
| 2.4.1 圆形窗口薄膜鼓膜方程球冠模型 | 第29-31页 |
| 2.4.2 圆形窗口薄膜的最小能量法 | 第31-33页 |
| 2.4.3 圆形薄板小挠度变形板壳理论 | 第33页 |
| 2.4.4 矩形薄膜窗口的内应力和挠度关系的数学模型 | 第33-34页 |
| 2.4.5 通用的薄膜膨胀方程 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-38页 |
| 第3章 鼓泡法测量薄膜力学性能实验装置设计及实验测量 | 第38-52页 |
| 3.1 概述 | 第38页 |
| 3.2 基于光学干涉的鼓膜实验装置设计 | 第38-46页 |
| 3.2.1 光学干涉系统装置的设计 | 第39-40页 |
| 3.2.2 He-Ne激光器的选择 | 第40页 |
| 3.2.3 光学镜的选择 | 第40-41页 |
| 3.2.4 CCD图像采集的选择 | 第41-42页 |
| 3.2.5 测量基座的设计 | 第42-43页 |
| 3.2.6 压力加载装置的设计 | 第43-45页 |
| 3.2.7 压力测量装置的设计 | 第45-46页 |
| 3.3 实验测试 | 第46-49页 |
| 3.3.1 光学干涉位移测量装置精度的验证 | 第46-48页 |
| 3.3.2 验证测量基座的气密性 | 第48页 |
| 3.3.3 对纯铝薄膜试样力学性能的测试 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-52页 |
| 第4章 鼓膜实验数据处理及结果分析 | 第52-66页 |
| 4.1 概述 | 第52页 |
| 4.2 条纹图像处理 | 第52-57页 |
| 4.2.1 条纹图像处理特点 | 第53页 |
| 4.2.2 条纹图像预处理处理操作 | 第53-55页 |
| 4.2.3 条纹图像计数操作 | 第55-56页 |
| 4.2.4 条纹图像处理结果 | 第56-57页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第57-60页 |
| 4.3.1 厚220μm铝薄膜测试结果与分析 | 第57-59页 |
| 4.3.2 厚210μm铝薄膜测试结果与分析 | 第59-60页 |
| 4.3.3 厚220μm铝薄膜测试结果与分析 | 第60页 |
| 4.4 有限元仿真分析 | 第60-63页 |
| 4.5 误差分析 | 第63-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-66页 |
| 第5章 总结与展望 | 第66-70页 |
| 5.1 全文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 研究结论与创新点 | 第67页 |
| 5.3 工作展望 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 附录 | 第76页 |
| A. 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第76页 |
| D. 作者在攻读硕士学位期间获得的荣誉 | 第76页 |
