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高效率曲面激光直写光刻关键技术研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
主要符号对照表第11-12页
1.绪论第12-33页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 平面微细图形制造技术第13-17页
    1.3 曲面微细图形制造技术第17-22页
    1.4 激光直写光刻技术的发展历程第22-30页
    1.5 本课题研究意义及内容第30-33页
2.高效率曲面激光直写光刻系统的设计与构建第33-61页
    2.1 前言第33-34页
    2.2 高效率曲面激光直写光刻系统的结构及工作原理第34-51页
    2.3 激光直写光刻图形路径的生成与控制第51-60页
    2.4 大幅面、跨尺度曲面激光直写光刻的设备可行性第60页
    2.5 本章小结第60-61页
3.激光直写光刻用材料-光刻胶的制备与涂覆技术第61-77页
    3.1 前言第61-62页
    3.2 光刻胶的制备与性能测试第62-68页
    3.3 光刻胶的溶解抑制与感光机理第68-70页
    3.4 光刻胶的三维曲面涂覆膜厚分析与测试第70-76页
    3.5 本章小结第76-77页
4.激光与光刻胶相互作用机理和激光直写光刻理论模型第77-102页
    4.1 前言第77页
    4.2 实验部分第77-79页
    4.3 不同波长的激光与光刻胶的相互作用第79-84页
    4.4 光刻胶的曝光阈值能量密度分析第84-85页
    4.5 激光直写光刻的能量密度分布及图形轮廓的理论模型分析第85-101页
    4.6 本章小结第101-102页
5.激光直写光刻工艺参数对光刻图形线宽的影响规律第102-117页
    5.1 前言第102页
    5.2 实验部分第102-104页
    5.3 激光扫描曝光对光刻图形轮廓的影响第104-116页
    5.4 本章小结第116-117页
6.激光直写光刻制作大面积、曲面微细图形的应用研究第117-130页
    6.1 前言第117页
    6.2 实验部分第117-118页
    6.3 平面微细图形的制作第118-124页
    6.4 曲面微细图形的制作第124-129页
    6.5 本章小结第129-130页
7.全文总结第130-133页
    7.1 主要结论第130-131页
    7.2 研究展望第131-133页
致谢第133-134页
参考文献第134-154页
附录I 攻读博士学位期间发表的论文和申请的专利第154-155页
    1学术论文第154-155页
    2申请专利第155页

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