基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第17-26页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第17-21页 |
| 1.1.1 半导体单晶硅材料的发展 | 第17-18页 |
| 1.1.2 滚磨设备工作原理 | 第18-21页 |
| 1.2 滚磨一体化设备研究现状 | 第21-24页 |
| 1.2.1 滚磨加工设备国内外现状 | 第21-22页 |
| 1.2.2 晶体定向研究现状 | 第22-23页 |
| 1.2.3 磨削加工研究现状 | 第23-24页 |
| 1.3 课题意义和目的 | 第24-25页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 定向基本原理以及磨削原理 | 第26-41页 |
| 2.1 滚磨设备简介 | 第26-29页 |
| 2.2 自动定向原理及方案论述 | 第29-35页 |
| 2.2.1 定向仪原理 | 第29-30页 |
| 2.2.2 定向仪构成 | 第30-33页 |
| 2.2.3 自动定向方案设计要求 | 第33-35页 |
| 2.3 磨削过程分析与模型建立 | 第35-40页 |
| 2.3.1 磨削方式分析 | 第35-37页 |
| 2.3.2 磨削过程分析 | 第37-38页 |
| 2.3.3 磨削过程基本要素 | 第38-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 自动定向系统设计 | 第41-57页 |
| 3.1 定向装置机械结构 | 第41-42页 |
| 3.2 控制系统构成研究 | 第42-47页 |
| 3.3 系统软件设计 | 第47-52页 |
| 3.3.1 PLC程序设计 | 第47-50页 |
| 3.3.2 人机界面设计 | 第50-52页 |
| 3.3.3 信号采集 | 第52页 |
| 3.4 系统参数对定向精度的影响研究 | 第52-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 杯型砂轮磨削工艺研究 | 第57-78页 |
| 4.1 磨削几何学分析 | 第57-62页 |
| 4.1.1 磨削宽度、磨削切入线研究 | 第57-59页 |
| 4.1.2 砂轮与工件的接触弧长研究 | 第59-61页 |
| 4.1.3 磨削特点分析 | 第61-62页 |
| 4.2 表面完整性研究 | 第62-70页 |
| 4.2.1 磨削轨迹研究 | 第62-66页 |
| 4.2.2 磨削表面粗糙度研究 | 第66-70页 |
| 4.3 材料去除研究 | 第70-74页 |
| 4.3.1 磨削材料去除体积研究 | 第70-72页 |
| 4.3.2 磨削参数对材料去除的影响研究 | 第72-74页 |
| 4.4 工艺参数优化 | 第74-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-78页 |
| 第5章 实验平台开发与性能测试 | 第78-91页 |
| 5.1 自动化定向性能测试 | 第78-81页 |
| 5.1.1 定向平台 | 第78-79页 |
| 5.1.2 定向实验过程 | 第79-80页 |
| 5.1.3 实验结果分析 | 第80-81页 |
| 5.2 磨削质量结果检验 | 第81-88页 |
| 5.2.1 实验设备、材料 | 第81-83页 |
| 5.2.2 磨削性能实验研究 | 第83-88页 |
| 5.2.3 磨削结果验证 | 第88页 |
| 5.3 试验样机成果 | 第88-89页 |
| 5.4 本章小结 | 第89-91页 |
| 第6章 总结与展望 | 第91-93页 |
| 6.1 总结 | 第91-92页 |
| 6.2 展望 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 附录 | 第96-97页 |
