| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-23页 |
| 1.2.1 结构健康监测研究现状 | 第13-16页 |
| 1.2.2 MEMS传感器稳定性研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.3 结构稳定性分析方法回顾 | 第18-23页 |
| 1.3 本论文主要工作 | 第23-26页 |
| 第2章 MEMS传感器工作原理 | 第26-36页 |
| 2.1 MEMS电容式位移传感器工作原理 | 第26-28页 |
| 2.2 MEMS压阻式压力传感器工作原理 | 第28-30页 |
| 2.3 MEMS电容式加速度计工作原理 | 第30-36页 |
| 第3章 MEMS传感器简支梁模型的数值算法 | 第36-49页 |
| 3.1 MEMS简支梁后屈曲变形力学模型的建立 | 第36-39页 |
| 3.2 MEMS简支梁应用电压的数值求解 | 第39-42页 |
| 3.3 MEMS简支梁吸合电压的数值求解 | 第42-49页 |
| 第4章 MEMS传感器梁模型的解析逼近解 | 第49-58页 |
| 4.1 MEMS两端夹紧梁解析逼近解 | 第49-53页 |
| 4.1.1 MEMS两端夹紧梁后屈曲变形力学模型的建立 | 第49-50页 |
| 4.1.2 MEMS两端固支梁模型解析逼近解的构造 | 第50-53页 |
| 4.2 MEMS悬臂梁解析逼近解 | 第53-58页 |
| 4.2.1 MEMS悬臂梁后屈曲变形力学模型的建立 | 第53-55页 |
| 4.2.2 MEMS悬臂梁模型解析逼近解的构造 | 第55-58页 |
| 第5章 结果与讨论 | 第58-87页 |
| 5.1 简支微梁数值解结果讨论 | 第58-63页 |
| 5.2 两端夹紧微梁解析解结果讨论 | 第63-78页 |
| 5.2.1 不含弥散场效应及范德华力的影响的结果分析 | 第63-69页 |
| 5.2.2 考虑弥散场效应及范德华力的影响的结果分析 | 第69-78页 |
| 5.3 实际算例分析 | 第78-87页 |
| 5.3.1 算例一 | 第79-81页 |
| 5.3.2 算例二 | 第81-83页 |
| 5.3.3 算例三 | 第83-87页 |
| 第6章 结论及展望 | 第87-89页 |
| 6.1 结论 | 第87-88页 |
| 6.2 展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-94页 |
| 作者简介 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |
