| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 纳米位移测量技术国内外研究现状 | 第11-25页 |
| 1.2.1 激光单频(零差)偏振干涉位移测量技术研究 | 第11-15页 |
| 1.2.2 激光双频(外差)干涉位移测量技术研究 | 第15-19页 |
| 1.2.3 正弦相位调制干涉位移测量技术研究 | 第19-24页 |
| 1.2.4 偏振激光干涉纳米位移测量技术总结 | 第24-25页 |
| 1.3 论文研究目的和内容安排 | 第25-26页 |
| 第2章 电光调制双零差干涉位移测量原理 | 第26-49页 |
| 2.1 电光调制技术 | 第26-29页 |
| 2.1.1 纵向电光振幅调制 | 第26-28页 |
| 2.1.2 纵向电光相位调制 | 第28-29页 |
| 2.2 电光调制双零差干涉光路结构及位移测量原理 | 第29-32页 |
| 2.3 线性相位调制解调原理 | 第32-36页 |
| 2.3.1 线性相位调制技术 | 第32-35页 |
| 2.3.2 时域过零鉴相 | 第35-36页 |
| 2.4 正弦加三角波复合相位调制解调原理 | 第36-48页 |
| 2.4.1 复合相位调制解调技术 | 第37-40页 |
| 2.4.2 最小二乘法4参数椭圆拟合原理 | 第40-44页 |
| 2.4.3 CORDIC算法反正切函数计算原理 | 第44-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 电光调制双零差干涉仪信号处理方法研究 | 第49-70页 |
| 3.1 线性相位调制双零差干涉仪信号处理方法 | 第49-57页 |
| 3.1.1 干涉信号预处理 | 第49-52页 |
| 3.1.2 基于LabVIEW的时域过零鉴相实现 | 第52-54页 |
| 3.1.3 整周期计数及相位解包裹 | 第54-56页 |
| 3.1.4 相位差测量精度测试 | 第56-57页 |
| 3.2 正弦加三角波复合相位调制双零差干涉仪信号处理方法 | 第57-69页 |
| 3.2.1 调制信号的生成 | 第58-59页 |
| 3.2.2 数字低通滤波器设计 | 第59-61页 |
| 3.2.3 基于FPGA+ARM的快速4参数椭圆拟合及修正设计与实现 | 第61-65页 |
| 3.2.4 基于CORDIC算法的反正切函数FPGA实现 | 第65-66页 |
| 3.2.5 相位解调测试实验及结果分析 | 第66-69页 |
| 3.3 本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 实验结果及分析 | 第70-84页 |
| 4.1 线性相位调制双零差干涉仪位移测量相关实验 | 第70-78页 |
| 4.1.1 稳定性实验 | 第70-71页 |
| 4.1.2 位移测量实验 | 第71-78页 |
| 4.2 正弦加三角波复合相位调制双零差干涉仪位移测量相关实验 | 第78-83页 |
| 4.2.1 椭圆拟合精度实验 | 第78-79页 |
| 4.2.2 椭圆拟合速率实验 | 第79-80页 |
| 4.2.3 实时修正必要性实验 | 第80页 |
| 4.2.4 实时修正对比实验 | 第80-81页 |
| 4.2.5 非线性误差测量实验 | 第81-82页 |
| 4.2.6 毫米级位移测量实验 | 第82-83页 |
| 4.3 本章小结 | 第83-84页 |
| 第5章 总结与展望 | 第84-87页 |
| 5.1 论文总结 | 第84-85页 |
| 5.2 主要创新点 | 第85-86页 |
| 5.3 论文展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 攻读硕士学位期间取得的相关研究成果 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94页 |
