| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 太阳能电池的发展趋势及其现状 | 第9-11页 |
| 1.2 太阳能电池发展的历史 | 第11-13页 |
| 1.3 非晶硅薄膜太阳能电池 | 第13-16页 |
| 1.3.1 非晶硅薄膜太阳能电池的研究进展 | 第13-15页 |
| 1.3.2 非晶硅电池的缺陷 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文选题思想及内容安排 | 第16-17页 |
| 第二章 非晶硅薄膜太阳能电池的原理和制备方法 | 第17-28页 |
| 2.1 太阳能电池的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.2 太阳能电池参数特性 | 第18-21页 |
| 2.3 非晶硅薄膜的结构及光电特性 | 第21-24页 |
| 2.3.1 非晶硅的结构 | 第21-22页 |
| 2.3.2 非晶硅的光学特性 | 第22-23页 |
| 2.3.3 非晶硅的电学性质 | 第23-24页 |
| 2.4 PECVD法制备非晶硅薄膜的生长机制 | 第24-25页 |
| 2.5 沉积设备测试手段 | 第25-27页 |
| 2.5.1 PECVD | 第25-26页 |
| 2.5.2 傅里叶红外光谱法 | 第26页 |
| 2.5.3 台阶仪 | 第26-27页 |
| 2.5.4 紫外-可见光光分度计 | 第27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 非晶硅薄膜太阳能电池的结构设计与优化 | 第28-49页 |
| 3.1 数值分析软件原理介绍和使用说明 | 第28-29页 |
| 3.2 单结非晶硅电池的优化 | 第29-42页 |
| 3.2.1 非晶硅电池模拟参数的设置 | 第29页 |
| 3.2.2 单结非晶硅电池吸收层特性的优化 | 第29-37页 |
| 3.2.3 单结非晶硅电池窗口层p特性的优化 | 第37-39页 |
| 3.2.4 非晶硅电池n层特性的优化 | 第39-42页 |
| 3.3 吸收层为分层的非晶硅太阳能电池结构设计 | 第42-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 非晶硅表面陷光结构的制备与光学特性的研究 | 第49-65页 |
| 4.1 实验设备 | 第50-52页 |
| 4.1.1 Nd：YAG纳秒激光系统 | 第50-51页 |
| 4.1.2 GCD-0301电控平移台 | 第51-52页 |
| 4.1.3 光能量计 | 第52页 |
| 4.2 纳秒激光与非晶硅相互作用的机制 | 第52-53页 |
| 4.3 纳秒激光对非晶硅表面微构造实验 | 第53-54页 |
| 4.3.1 实验装置搭建 | 第53-54页 |
| 4.3.2 实验步骤 | 第54页 |
| 4.3.3 非晶硅表面陷光结构的制备 | 第54页 |
| 4.4 纳秒激光制备非晶硅表面陷光结构的实验结果 | 第54-60页 |
| 4.4.1 532nm纳秒激光在六氟化硫中制备非晶硅表面陷光结构 | 第55-56页 |
| 4.4.2 532nm纳秒激光在真空中制备非晶硅表面陷光结构 | 第56-58页 |
| 4.4.3 532nm纳秒激光在空气中制备非晶硅表面陷光结构 | 第58-59页 |
| 4.4.4 532nm纳秒激光在不同扫描速度下制备非晶硅表面陷光结构 | 第59-60页 |
| 4.5 激光处理非晶硅后的光吸收特性 | 第60-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 非晶硅电池吸收层的制备和光学特性的研究 | 第65-71页 |
| 5.1 吸收层模型及制备工艺条件 | 第65-66页 |
| 5.2 不同气体压强下制备单层非晶硅薄膜的光学特性 | 第66-68页 |
| 5.3 双层吸收层薄膜的制备工艺及光学特性 | 第68-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第78-79页 |
