| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题的提出及研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 微纳器件制造研究进展 | 第13-14页 |
| 1.2.1 微纳器件及其发展 | 第13页 |
| 1.2.2 微纳器件制造技术及其进展 | 第13-14页 |
| 1.2.3 超声微注塑成型 | 第14页 |
| 1.3 超声振动在注塑成型中的应用研究进展 | 第14-20页 |
| 1.3.1 超声振动辅助注塑成型 | 第15-17页 |
| 1.3.2 超声塑化聚合物颗粒注塑成型 | 第17-19页 |
| 1.3.3 超声振动应用研究存在的问题 | 第19-20页 |
| 1.4 课题的主要研究内容及技术路线 | 第20-22页 |
| 2 超声换能器结构与聚合物颗粒摩擦塑化生热关系的数学模型 | 第22-38页 |
| 2.1 超声塑化成型系统 | 第22-23页 |
| 2.1.1 超声塑化成型系统组成 | 第22页 |
| 2.1.2 超声塑化成型系统工作过程 | 第22-23页 |
| 2.1.3 超声塑化系统结构 | 第23页 |
| 2.2 超声塑化聚合物颗粒生热机理研究 | 第23-26页 |
| 2.2.1 界面摩擦生热 | 第24-25页 |
| 2.2.2 粘弹性生热 | 第25-26页 |
| 2.2.3 超声空化效应 | 第26页 |
| 2.3 换能器结构与聚合物颗粒界面摩擦塑化生热率关系的数学模型 | 第26-31页 |
| 2.3.1 纵振激励下聚合物颗粒界面摩擦塑化生热理论 | 第27页 |
| 2.3.2 谐振频率和输出振幅方程 | 第27-31页 |
| 2.4 计算结果与分析 | 第31-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 超声换能器结构对聚合物颗粒摩擦塑化生热影响的仿真分析 | 第38-61页 |
| 3.1 超声换能器设计与分析 | 第38-41页 |
| 3.1.1 超声换能器设计 | 第38-39页 |
| 3.1.2 模态和瞬态分析 | 第39-41页 |
| 3.2 聚合物颗粒界面摩擦塑化生热仿真分析 | 第41-44页 |
| 3.2.1 有限元模型假设 | 第41页 |
| 3.2.2 有限元模型建立 | 第41-43页 |
| 3.2.3 界面摩擦塑化生热仿真分析 | 第43-44页 |
| 3.3 结构参数对纵振激励下聚合物颗粒界面摩擦塑化生热的影响 | 第44-54页 |
| 3.3.1 结构参数对纵振激励下聚合物颗粒界面摩擦塑化生热过程的影响 | 第44-53页 |
| 3.3.2 结构参数对纵振激励下聚合物颗粒界面摩擦塑化生热率的影响 | 第53-54页 |
| 3.4 验证分析 | 第54-59页 |
| 3.4.1 后盖板长度 | 第55页 |
| 3.4.2 压电陶瓷片厚度 | 第55-56页 |
| 3.4.3 前盖板长度 | 第56-57页 |
| 3.4.4 变幅杆长度 | 第57-58页 |
| 3.4.5 放大比 | 第58页 |
| 3.4.6 超声工具头长度 | 第58-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 4 超声工具头与塑化腔之间环形间隙设计与分析 | 第61-72页 |
| 4.1 超声工具头与塑化腔之间环形间隙理论研究 | 第61-63页 |
| 4.1.1 环形间隙泄漏量理论研究 | 第61-62页 |
| 4.1.2 超声工具头摩擦力理论研究 | 第62-63页 |
| 4.2 环形间隙有限元模型建立 | 第63-66页 |
| 4.2.1 环形间隙模型 | 第63-64页 |
| 4.2.2 材料参数和粘度模型 | 第64-65页 |
| 4.2.3 网格划分 | 第65页 |
| 4.2.4 边界条件 | 第65-66页 |
| 4.3 结果分析 | 第66-71页 |
| 4.3.1 泄漏量和摩擦力的仿真值与解析值 | 第66-68页 |
| 4.3.2 入口总压力对泄漏量和工具头摩擦力的影响 | 第68-69页 |
| 4.3.3 环形间隙对泄漏量和工具头摩擦力的影响 | 第69-71页 |
| 4.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 5 微纳器件超声塑化成型系统设计及优化 | 第72-81页 |
| 5.1 超声塑化成型系统结构设计 | 第72-73页 |
| 5.2 超声换能器设计及优化 | 第73-76页 |
| 5.2.1 超声换能器优化设计 | 第74页 |
| 5.2.2 优化分析 | 第74-76页 |
| 5.3 塑化腔设计 | 第76-77页 |
| 5.4 模具系统设计 | 第77-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 结论与展望 | 第81-84页 |
| 6.1 结论 | 第81-82页 |
| 6.2 展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 个人简历 | 第89-90页 |
| 在校期间发表学术论文与科研成果 | 第90页 |
