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磁控溅射可控沉积MoS2基复合薄膜及其摩擦学性能研究

摘要第7-9页
Abstract第9-10页
第1章 绪论第11-24页
    1.1 固体润滑材料第11-13页
        1.1.1 过渡族金属二硫化物第11-12页
        1.1.2 石墨及类金刚石薄膜第12页
        1.1.3 自润滑高分子聚合物第12-13页
        1.1.4 软金属第13页
    1.2 MoS_2薄膜结构及沉积技术第13-15页
        1.2.1 MoS_2薄膜组成及结构第13-14页
        1.2.2 MoS_2薄膜沉积技术第14-15页
    1.3 不同应用环境MoS_2薄膜摩擦机制第15-19页
        1.3.1 大气环境下MoS_2基薄膜摩擦学性能第15-16页
        1.3.2 真空环境下MoS_2基薄膜摩擦学性能第16-17页
        1.3.3 潮湿环境下MoS_2基薄膜摩擦学性能第17-18页
        1.3.4 高温环境下MoS_2基薄膜摩擦学性能第18-19页
    1.4 类金刚石薄膜材料第19-23页
        1.4.0 类金刚石薄膜(DLC)组成及应用第19-20页
        1.4.1 类金刚石薄膜(DLC)制备技术第20-21页
        1.4.2 类金刚石薄膜(DLC)摩擦学行为影响因素第21-22页
        1.4.3 类金刚石薄膜(DLC)摩擦机理第22-23页
    1.5 选题依据与研究内容第23-24页
        1.5.1 选题依据第23页
        1.5.2 研究内容第23-24页
第2章 MoS_2/a-C:H复合薄膜摩擦学性能研究第24-40页
    2.1 引言第24页
    2.2 实验部分第24-26页
        2.2.1 实验设备与材料第24-25页
        2.2.2 MoS_2/a-C:H复合薄膜制备第25页
        2.2.3 MoS_2/a-C:H复合薄膜表征及性能测试第25-26页
    2.3 结果与讨论第26-39页
        2.3.1 MoS_2/a-C:H复合薄膜结构分析第26-33页
        2.3.2 MoS_2/a-C:H复合薄膜机械性能分析第33-35页
        2.3.3 MoS_2/a-C:H复合薄膜摩擦学性能分析第35-39页
    2.4 本章小结第39-40页
第3章 MoS_2/Al复合薄膜高温摩擦学性能研究第40-52页
    3.1 前言第40-41页
    3.2 实验部分第41-42页
        3.2.1 MoS_2/Al复合薄膜的制备第41-42页
        3.2.2 MoS_2/Al复合薄膜表征与测试第42页
    3.3 结果与讨论第42-51页
        3.3.1 MoS_2/Al复合薄膜的结构分析第42-46页
        3.3.2 MoS_2/Al复合薄膜的机械性能分析第46-48页
        3.3.3 MoS_2/Al复合薄膜的摩擦学性能分析第48-51页
    3.4 本章小结第51-52页
第4章 结论与展望第52-54页
参考文献第54-62页
致谢第62-63页
附录 攻读学位期间发表的论文第63页

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