| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-32页 |
| 1.1 减反射薄膜的原理及其应用 | 第11-21页 |
| 1.1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.1.2 太阳能的利用 | 第13-17页 |
| 1.1.3 减反射薄膜的发展及原理 | 第17-21页 |
| 1.2 自清洁薄膜的原理及应用 | 第21-25页 |
| 1.2.1 自清洁薄膜及发展 | 第21-23页 |
| 1.2.2 自清洁薄膜的原理及应用 | 第23-25页 |
| 1.3 TiO_2的特性及研究现状 | 第25-28页 |
| 1.3.1 TiO_2的特性 | 第25-26页 |
| 1.3.2 TiO_2的研究现状 | 第26-28页 |
| 1.4 TiO_2薄膜的制备方法 | 第28-30页 |
| 1.4.1 液相成膜法 | 第28-29页 |
| 1.4.2 气相成膜法 | 第29页 |
| 1.4.3 其他制备方法 | 第29-30页 |
| 1.5 本文的研究内容及选题意义 | 第30-32页 |
| 2 TiO_2薄膜的制备及表征仪器 | 第32-44页 |
| 2.1 直流磁控溅射及能量过滤直流磁控溅射设备 | 第32-36页 |
| 2.1.1 直流磁控溅射 | 第32-33页 |
| 2.1.2 能量过滤直流磁控溅射 | 第33-36页 |
| 2.2 TiO_2薄膜的制备 | 第36-37页 |
| 2.3 薄膜的表征方法及仪器 | 第37-38页 |
| 2.3.1 薄膜的结构和成分 | 第37页 |
| 2.3.2 表面形貌 | 第37-38页 |
| 2.4 光学特性测试 | 第38-41页 |
| 2.5 光催化试验 | 第41-42页 |
| 2.5.1 光催化降解 | 第41-42页 |
| 2.5.2 光致亲水性 | 第42页 |
| 2.6 光学设计软件 | 第42-43页 |
| 2.7 测试仪器 | 第43-44页 |
| 3 工艺参数对TiO_2特性的影响 | 第44-86页 |
| 3.1 直流磁控溅射工艺参数对TiO_2薄膜的影响 | 第44-75页 |
| 3.1.1 沉积温度对TiO_2薄膜的影响 | 第44-52页 |
| 3.1.2 沉积压强对TiO_2薄膜的影响 | 第52-58页 |
| 3.1.3 沉积时间对TiO_2薄膜的影响 | 第58-63页 |
| 3.1.4 氧氩比对TiO_2薄膜的影响 | 第63-69页 |
| 3.1.5 溅射功率对TiO_2薄膜的影响 | 第69-75页 |
| 3.2 能量过滤磁控溅射技术 | 第75-81页 |
| 3.2.1 过滤电极目数对TiO_2薄膜的结构和光学特性的影响 | 第75-81页 |
| 3.3 退火对TiO_2薄膜的影响 | 第81-85页 |
| 3.3.1 实验条件 | 第81-82页 |
| 3.3.2 退火对TiO_2薄膜结构和表面形貌的影响 | 第82-83页 |
| 3.3.3 退火对TiO_2薄膜光学特性的影响 | 第83-85页 |
| 3.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 4 工艺参数对TiO_2薄膜光催化性能的影响 | 第86-105页 |
| 4.1 DMS工艺参数对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第87-100页 |
| 4.1.1 沉积温度对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第87-91页 |
| 4.1.2 沉积压强对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第91-93页 |
| 4.1.3 沉积时间对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第93-96页 |
| 4.1.4 氧氩比对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第96-98页 |
| 4.1.5 沉积功率对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第98-100页 |
| 4.2 EFMS技术对TiO_2薄膜光催化性能的影响 | 第100-103页 |
| 4.3 退火对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第103-104页 |
| 4.4 本章小结 | 第104-105页 |
| 5 Al_2O_3掺杂对TiO_2薄膜的影响 | 第105-113页 |
| 5.1 掺杂比例对TiO_2薄膜的影响 | 第105-110页 |
| 5.2 掺杂比例对TiO_2薄膜的光催化性能的影响 | 第110-112页 |
| 5.3 本章小结 | 第112-113页 |
| 6 减反射自清洁薄膜的制备及性能表征 | 第113-126页 |
| 6.1 单层减反射自清洁薄膜 | 第113-119页 |
| 6.1.1 单层TiO_2减反射自清洁薄膜 | 第113-116页 |
| 6.1.2 单层掺杂TiO_2减反射自清洁薄膜 | 第116-119页 |
| 6.2 双层减反射自清洁薄膜 | 第119-124页 |
| 6.2.1 单质TiO_2双层减反射自清洁薄膜 | 第119-122页 |
| 6.2.2 双层掺杂TiO_2减反射自清洁薄膜 | 第122-124页 |
| 6.3 减反射薄膜对太阳能电池效率的影响 | 第124-125页 |
| 6.4 本章小结 | 第125-126页 |
| 7 结论 | 第126-129页 |
| 参考文献 | 第129-140页 |
| 致谢 | 第140-141页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第141页 |
