光学相干层析术中傅里叶变换光谱探测装置关键问题研究
摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
1 绪论 | 第7-16页 |
1.1 研究背景 | 第7-9页 |
1.1.1 SDOCT研究背景 | 第7-8页 |
1.1.2 光谱仪研究背景 | 第8-9页 |
1.2 光谱仪分类 | 第9-10页 |
1.3 微机电(MEMS)反射镜技术简介 | 第10-12页 |
1.4 国内外光谱仪发展状况 | 第12-15页 |
1.4.1 传统傅里叶变换光谱仪发展状况 | 第12-13页 |
1.4.2 基于MEMS技术的微型光谱仪发展状况 | 第13-15页 |
1.5 本论文主要研究内容 | 第15-16页 |
2 傅里叶变换光谱仪原理与系统 | 第16-30页 |
2.1 傅里叶变换光谱仪原理 | 第16-19页 |
2.1.1 傅里叶变换光谱原理与公式推导 | 第16-18页 |
2.1.2 傅里叶变换系统分辨率 | 第18-19页 |
2.2 采样系统 | 第19-20页 |
2.3 激光标定算法 | 第20-22页 |
2.4 数字滤波器 | 第22-24页 |
2.5 仪器指标与计算方法 | 第24-29页 |
2.5.1 基线与吸光度定义 | 第25-26页 |
2.5.2 基线噪声指标 | 第26-27页 |
2.5.3 纵向重复性指标 | 第27页 |
2.5.4 波长指标 | 第27-28页 |
2.5.5 测试流程 | 第28-29页 |
2.6 本章小结 | 第29-30页 |
3 MEMS运动状态分析及对系统的影响 | 第30-46页 |
3.1 MEMS总行程的变化 | 第30-33页 |
3.1.1 实验分析 | 第30-31页 |
3.1.2 位移量变化的影响 | 第31-33页 |
3.2 MEMS运动速度的变化 | 第33-36页 |
3.3 MEMS运动镜面倾角的变化 | 第36-41页 |
3.3.1 数学模型推导 | 第37-39页 |
3.3.2 仿真实验 | 第39-41页 |
3.4 MEMS沿运动方向漂移 | 第41-45页 |
3.4.1 运动过程中的漂移 | 第41-43页 |
3.4.2 MEMS漂移对光谱影响 | 第43-45页 |
3.5 本章小结 | 第45-46页 |
4 系统优化与算法改进 | 第46-58页 |
4.1 双光路实时标定设计 | 第46-52页 |
4.1.1 激光准直器 | 第48-50页 |
4.1.2 光路对准与实验数据 | 第50-52页 |
4.2 算法改进 | 第52-57页 |
4.2.1 等周期截取算法 | 第52-54页 |
4.2.2 等相位插值算法 | 第54-57页 |
4.3 本章小结 | 第57-58页 |
5 DOE实验设计与结果分析 | 第58-67页 |
5.1 DOE实验设计简介 | 第58-64页 |
5.1.1 实验设计 | 第58-60页 |
5.1.2 数据分析 | 第60-64页 |
5.2 针对光谱仪稳定性DOE实验设计 | 第64-66页 |
5.3 本章小结 | 第66-67页 |
6 总结与展望 | 第67-69页 |
致谢 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-73页 |