| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 论文研究的背景和意义 | 第11页 |
| 1.2 运动平台的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 宏微结合精密定位运动平台的国外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.2 宏微结合精密定位运动平台的国内研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 宏微结合精密定位运动平台的关键技术 | 第17-18页 |
| 1.4 未来发展趋势 | 第18页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第18-21页 |
| 第2章 宏微结合精密定位运动平台的工作原理 | 第21-33页 |
| 2.1 宏微结合精密定位运动平台工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 压电元件工作原理 | 第22-27页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第22-24页 |
| 2.2.2 压电材料的分类 | 第24页 |
| 2.2.3 压电叠堆及其工作原理 | 第24-26页 |
| 2.2.4 压电叠堆迟滞特性分析 | 第26-27页 |
| 2.3 柔性铰链工作原理 | 第27-31页 |
| 2.3.1 柔性铰链简介 | 第27-28页 |
| 2.3.2 柔性铰链的分类 | 第28-29页 |
| 2.3.3 柔性铰链选材与制作 | 第29-30页 |
| 2.3.4 柔性铰链力学模型 | 第30-31页 |
| 2.4 宏微结合精密定位运动平台控制系统原理 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动微定位平台的设计与分析 | 第33-53页 |
| 3.1 微定位平台的结构设计 | 第33-36页 |
| 3.1.1 微定位平台的设计要求 | 第33-34页 |
| 3.1.2 运动机构组合方式选择 | 第34页 |
| 3.1.3 导向机构的选择 | 第34-36页 |
| 3.2 三种柔性铰链的力学模型与性能对比 | 第36-42页 |
| 3.2.1 直圆型柔性铰链的力学模型解析法分析 | 第37-38页 |
| 3.2.2 直梁型柔性铰链的力学模型解析法分析 | 第38-39页 |
| 3.2.3“Z”型柔性铰链的力学模型解析法分析 | 第39-41页 |
| 3.2.4 三种柔性铰链有限元分析对比 | 第41-42页 |
| 3.3 微定位平台力学模型 | 第42-44页 |
| 3.3.1 微定位平台动力学模型系统动能 | 第43-44页 |
| 3.3.2 微定位平台动力学模型系统势能 | 第44页 |
| 3.4 微定位平台的有限元仿真分析 | 第44-51页 |
| 3.4.1 微定位平台几何参数的确定 | 第44-45页 |
| 3.4.2 微定位平台有限元模型建立 | 第45-46页 |
| 3.4.3 微定位平台静力分析 | 第46-50页 |
| 3.4.4 微定位平台模态分析 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 宏定位平台的设计与分析 | 第53-65页 |
| 4.1 宏定位平台的方案设计 | 第53-54页 |
| 4.2 宏定位平台结构组成 | 第54-57页 |
| 4.2.1 驱动电机的选择 | 第54-55页 |
| 4.2.2 传动丝杠的选型 | 第55页 |
| 4.2.3 导向装置的选择 | 第55-56页 |
| 4.2.4 三维宏动平台简介 | 第56-57页 |
| 4.3 宏定位平台动态特性分析与仿真 | 第57-62页 |
| 4.3.1 X轴滚珠丝杠进给系统动力学模型 | 第57-60页 |
| 4.3.2 宏动台动态特性仿真分析 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-65页 |
| 第5章 宏微结合精密定位运动平台的试验研究 | 第65-87页 |
| 5.1 宏微结合精密定位运动平台试验系统的搭建 | 第65-66页 |
| 5.2 宏定位系统的试验研究 | 第66-67页 |
| 5.3 微定位系统的试验研究 | 第67-86页 |
| 5.3.1 电压－位移特性试验分析 | 第67-80页 |
| 5.3.2 承载能力试验分析 | 第80-82页 |
| 5.3.3 输入正弦波信号试验分析 | 第82-84页 |
| 5.3.4 阶跃响应试验分析 | 第84-86页 |
| 5.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 第6章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 作者成果简介 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94页 |