| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 概述 | 第12-14页 |
| 1.2 超硬质涂层的分类 | 第14-15页 |
| 1.3 氮化铬涂层的研究进展 | 第15-19页 |
| 1.4 CrN_x薄膜的制备技术 | 第19-24页 |
| 1.4.1 离子镀原理和发展 | 第19-20页 |
| 1.4.2 多弧离子镀技术 | 第20-24页 |
| 1.5 课题研究的目的和意义 | 第24-25页 |
| 第2章 实验设备和方法 | 第25-31页 |
| 2.1 实验设备 | 第25页 |
| 2.2 实验材料的选择和预处理 | 第25-27页 |
| 2.3 薄膜实验方案 | 第27-28页 |
| 2.4 薄膜结构与性能的表征方法 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜的影响 | 第31-44页 |
| 3.1 在M2高速钢上沉积CrN_x薄膜 | 第31-38页 |
| 3.1.1 CrN_x薄膜的结构分析 | 第31-32页 |
| 3.1.2 氮气分压对CrN_x薄膜的表面形貌的影响 | 第32-36页 |
| 3.1.3 CrN_x薄膜的显微硬度 | 第36-37页 |
| 3.1.4 CrN_x薄膜的摩擦磨损性能 | 第37-38页 |
| 3.2 在 316L不锈钢上沉积CrN_x薄膜 | 第38-43页 |
| 3.2.1 CrN_x薄膜的结构分析 | 第38-39页 |
| 3.2.2 氮气分压对CrN_x薄膜的表面形貌的影响 | 第39-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 氩气/氮气比例对电弧离子镀CrN_x薄膜的影响 | 第44-55页 |
| 4.1 在M2高速钢上沉积CrN_x薄膜 | 第44-49页 |
| 4.1.1 CrN_x薄膜的结构分析 | 第44-45页 |
| 4.1.2 氩气/氮气比例对CrN_x薄膜的表面形貌的影响 | 第45-48页 |
| 4.1.3 CrN_x薄膜的显微硬度 | 第48-49页 |
| 4.2 在 316L不锈钢上沉积CrN_x薄膜 | 第49-54页 |
| 4.2.1 CrN_x薄膜的结构分析 | 第49-50页 |
| 4.2.2 氩气/氮气比例对CrN_x薄膜的表面形貌的影响 | 第50-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
