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电弧离子镀CrN薄膜的组织结构与性能的研究

摘要第6-8页
Abstract第8-9页
第1章 绪论第12-25页
    1.1 概述第12-14页
    1.2 超硬质涂层的分类第14-15页
    1.3 氮化铬涂层的研究进展第15-19页
    1.4 CrN_x薄膜的制备技术第19-24页
        1.4.1 离子镀原理和发展第19-20页
        1.4.2 多弧离子镀技术第20-24页
    1.5 课题研究的目的和意义第24-25页
第2章 实验设备和方法第25-31页
    2.1 实验设备第25页
    2.2 实验材料的选择和预处理第25-27页
    2.3 薄膜实验方案第27-28页
    2.4 薄膜结构与性能的表征方法第28-30页
    2.5 本章小结第30-31页
第3章 氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜的影响第31-44页
    3.1 在M2高速钢上沉积CrN_x薄膜第31-38页
        3.1.1 CrN_x薄膜的结构分析第31-32页
        3.1.2 氮气分压对CrN_x薄膜的表面形貌的影响第32-36页
        3.1.3 CrN_x薄膜的显微硬度第36-37页
        3.1.4 CrN_x薄膜的摩擦磨损性能第37-38页
    3.2 在 316L不锈钢上沉积CrN_x薄膜第38-43页
        3.2.1 CrN_x薄膜的结构分析第38-39页
        3.2.2 氮气分压对CrN_x薄膜的表面形貌的影响第39-43页
    3.3 本章小结第43-44页
第4章 氩气/氮气比例对电弧离子镀CrN_x薄膜的影响第44-55页
    4.1 在M2高速钢上沉积CrN_x薄膜第44-49页
        4.1.1 CrN_x薄膜的结构分析第44-45页
        4.1.2 氩气/氮气比例对CrN_x薄膜的表面形貌的影响第45-48页
        4.1.3 CrN_x薄膜的显微硬度第48-49页
    4.2 在 316L不锈钢上沉积CrN_x薄膜第49-54页
        4.2.1 CrN_x薄膜的结构分析第49-50页
        4.2.2 氩气/氮气比例对CrN_x薄膜的表面形貌的影响第50-54页
    4.3 本章小结第54-55页
结论第55-57页
参考文献第57-65页
攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果第65-66页
致谢第66-67页

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