硅基模式转换器件的研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-30页 |
| 1.1 硅基光子集成 | 第10-15页 |
| 1.1.1 光子学的发展 | 第10-11页 |
| 1.1.2 硅基集成光子器件的研究进展 | 第11-15页 |
| 1.2 硅基模式转换器件 | 第15-27页 |
| 1.2.1 高阶模式转换器件 | 第15-19页 |
| 1.2.2 模式演变型偏振模式转换器件 | 第19-23页 |
| 1.2.3 模式混合型偏振模式转换器件 | 第23-27页 |
| 1.3 仿真软件 | 第27-28页 |
| 1.4 本文的研究工作及其创新点 | 第28-29页 |
| 1.4.1 高阶模式转换光栅 | 第28页 |
| 1.4.2 模式演变型偏振旋转器 | 第28-29页 |
| 1.4.3 模式混合型偏振旋转器 | 第29页 |
| 1.5 本文的主要结构 | 第29-30页 |
| 第二章 高阶模式转换光栅的设计 | 第30-55页 |
| 2.1 高阶模式转换理论分析 | 第30-35页 |
| 2.1.1 耦合模理论 | 第30-33页 |
| 2.1.2 反向模式耦合的布拉格条件 | 第33-35页 |
| 2.2 延迟线整体结构设计 | 第35-38页 |
| 2.2.1 设计目的 | 第35页 |
| 2.2.2 整体解决方案 | 第35-38页 |
| 2.2.3 性能参数 | 第38页 |
| 2.3 Mode Solutions仿真 | 第38-51页 |
| 2.3.1 确定波导宽度 | 第40-41页 |
| 2.3.2 确定周期大小 | 第41-42页 |
| 2.3.3 确定最大锯齿宽度和周期数 | 第42-49页 |
| 2.3.4 确定占空比 | 第49-50页 |
| 2.3.5 验证器件性能 | 第50-51页 |
| 2.4 未来研究方向 | 第51-53页 |
| 2.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第三章 模式演变型偏振旋转器的设计 | 第55-66页 |
| 3.1 器件整体结构 | 第55-59页 |
| 3.1.1 设计目的 | 第55页 |
| 3.1.2 主要器件参数 | 第55-56页 |
| 3.1.3 设计原理与分析 | 第56-59页 |
| 3.2 FDTD Solutions仿真 | 第59-64页 |
| 3.2.1 确定波导宽度和厚度 | 第59-60页 |
| 3.2.2 确定刻蚀宽度和深度 | 第60-61页 |
| 3.2.3 确定两级长度 | 第61页 |
| 3.2.4 器件性能验证和容差分析 | 第61-64页 |
| 3.3 未来研究方向 | 第64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 模式混合型偏振旋转器 | 第66-90页 |
| 4.1 器件结构和原理分析 | 第66-68页 |
| 4.1.1 设计思路 | 第66页 |
| 4.1.2 器件性能参数 | 第66页 |
| 4.1.3 器件整体结构 | 第66-67页 |
| 4.1.4 原理分析 | 第67-68页 |
| 4.2 FDTD Solutions仿真 | 第68-82页 |
| 4.2.1 仿真设置 | 第68-69页 |
| 4.2.2 基于 400nm波导的PR仿真设计 | 第69-78页 |
| 4.2.3 基于 220nm波导的PR仿真设计 | 第78-82页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第82-87页 |
| 4.3.1 工艺流程 | 第82-83页 |
| 4.3.2 测试方法与器件 | 第83-84页 |
| 4.3.3 实验结果与分析 | 第84-87页 |
| 4.4 未来研究方向 | 第87-88页 |
| 4.5 本章小结 | 第88-90页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第90-92页 |
| 5.1 工作的总结 | 第90-91页 |
| 5.2 未来工作的展望 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第98-100页 |
