| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-33页 |
| 1.1 研究背景以及选题意义 | 第12-16页 |
| 1.2 射频与微波段软磁薄膜研究进展 | 第16-24页 |
| 1.2.1 纳米合金软磁薄膜 | 第19-22页 |
| 1.2.2 纳米颗粒软磁薄膜 | 第22-24页 |
| 1.3 集成薄膜电磁噪声抑制器的研究现状及意义 | 第24-31页 |
| 1.3.1 抗EMI技术的主要内容 | 第24-25页 |
| 1.3.2 薄膜电磁噪声抑制性能的影响因素 | 第25-30页 |
| 1.3.2.1 薄膜磁性能对噪声抑制性能的影响 | 第26页 |
| 1.3.2.2 薄膜的电阻特性对噪声抑制性能的影响 | 第26-27页 |
| 1.3.2.3 薄膜的三维尺寸对噪声抑制性能的影响 | 第27-29页 |
| 1.3.2.4 其他因素对噪声抑制性能的影响 | 第29-30页 |
| 1.3.3 集成薄膜电磁噪声抑制器的优势 | 第30-31页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第31-33页 |
| 第二章 高频软磁性薄膜的基础理论 | 第33-59页 |
| 2.1 薄膜的静态磁性能——磁滞回线 | 第34-41页 |
| 2.1.1 诱导单轴各向异性 | 第34-39页 |
| 2.1.1.1 FexCo1-x | 第37页 |
| 2.1.1.2 CoNbZr | 第37-39页 |
| 2.1.2 矫顽场 | 第39-41页 |
| 2.2 磁化的动态特性 | 第41-46页 |
| 2.2.1 不同种类的损耗和共振 | 第41-43页 |
| 2.2.2 涡流损耗 | 第43-46页 |
| 2.3 高频磁性理论 | 第46-51页 |
| 2.3.1 高频磁极限关系理论 | 第46-48页 |
| 2.3.2 磁谱的计算 | 第48-50页 |
| 2.3.3 薄膜的磁导率、共振频率以及阻尼系数 | 第50-51页 |
| 2.4 薄膜高频微波性能的测试 | 第51-58页 |
| 2.4.1 传输线理论 | 第51-54页 |
| 2.4.2 利用矢量网络分析仪的微波性能测试 | 第54-57页 |
| 2.4.3 铁磁共振线宽的测试 | 第57-58页 |
| 2.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第三章 CoNbZr纳米薄膜的高频性能研究 | 第59-77页 |
| 3.1 引言 | 第59页 |
| 3.2 CoNbZr薄膜的制备与表征 | 第59-60页 |
| 3.3 电脉冲退火系统的搭建 | 第60-66页 |
| 3.3.1 电脉冲退火系统的设计 | 第60-65页 |
| 3.3.1.1 脉冲电源的硬件设计 | 第61-63页 |
| 3.3.1.2 电脉冲退火系统的硬件实现 | 第63-65页 |
| 3.3.2 脉冲电源的测试与调试 | 第65-66页 |
| 3.3.2.1 脉冲电源输出能力的测试 | 第65页 |
| 3.3.2.2 输出波形的调试 | 第65-66页 |
| 3.4 CoNbZr薄膜性能的调控 | 第66-75页 |
| 3.4.1 溅射功率对薄膜磁性能的影响 | 第67-68页 |
| 3.4.2 真空磁场退火温度对薄膜磁性能的影响 | 第68-70页 |
| 3.4.3 电脉冲退火对薄膜磁性能的影响 | 第70-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-77页 |
| 第四章 FeCo-YSZ纳米颗粒薄膜高频性能的研究与调控 | 第77-101页 |
| 4.1 引言 | 第77-78页 |
| 4.2 FeCo-YSZ薄膜样品的制备与表征 | 第78页 |
| 4.3 FeCo-YSZ薄膜高频性能的调控 | 第78-99页 |
| 4.3.1 射频溅射功率和气压对FeCo-YSZ薄膜性能的影响 | 第79-87页 |
| 4.3.2 YSZ掺杂量对薄膜性能的影响 | 第87-94页 |
| 4.3.3 薄膜厚度的影响与调控 | 第94-99页 |
| 4.4 本章小结 | 第99-101页 |
| 第五章 集成薄膜电磁噪声抑制器的设计与性能研究 | 第101-114页 |
| 5.1 引言 | 第101-102页 |
| 5.2 薄膜抑制电磁噪声的机理与测试平台 | 第102-104页 |
| 5.2.1 薄膜电磁噪声抑制机理 | 第102-103页 |
| 5.2.2 测试平台简介 | 第103-104页 |
| 5.3 共面波导传输线的设计与制作 | 第104-108页 |
| 5.3.1 共面波导传输线的基本结构 | 第104-105页 |
| 5.3.2 共面波导的设计研究 | 第105-108页 |
| 5.4 磁性薄膜的特性对传输性能的影响 | 第108-112页 |
| 5.4.1 薄膜的厚度对传输性能的影响 | 第109-111页 |
| 5.4.2 薄膜的成分对传输性能的影响 | 第111-112页 |
| 5.5 本章小结 | 第112-114页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第114-118页 |
| 6.1 全文总结 | 第114-117页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第129-130页 |
