| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 稀土永磁材料 | 第8-10页 |
| 1.1.1 稀土永磁材料发展史 | 第8页 |
| 1.1.2 Nd-Fe-B永磁材料 | 第8-10页 |
| 1.2 Nd-Fe-B薄膜 | 第10-13页 |
| 1.2.1 Nd-Fe-B薄膜的应用背景 | 第10页 |
| 1.2.2 Nd-Fe-B薄膜的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 Nd-Fe-B薄膜的制备工艺 | 第13-15页 |
| 1.3.1 脉冲激光沉积法(PLD) | 第14页 |
| 1.3.2 分子束外延法(MBE) | 第14-15页 |
| 1.3.3 磁控溅射法 | 第15页 |
| 1.4 目前Nd-Fe-B薄膜研究存在的问题 | 第15-16页 |
| 1.5 本论文研究目的及主要内容 | 第16-18页 |
| 2 实验方案 | 第18-24页 |
| 2.1 薄膜制备及热处理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 制备方法及设备简介 | 第18-19页 |
| 2.1.2 制备过程 | 第19-20页 |
| 2.1.3 热处理设备简介 | 第20页 |
| 2.2 薄膜结构表征及性能测试 | 第20-24页 |
| 2.2.1 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) | 第21页 |
| 2.2.2 X-ray衍射仪(XRD) | 第21页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜(TEM) | 第21页 |
| 2.2.4 X射线光电子能谱(XPS) | 第21-22页 |
| 2.2.5 振动样品磁强计(VSM)及综合物性测量系统(PPMS) | 第22-24页 |
| 3 Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜的磁性能及微观结构演变 | 第24-36页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 结果与分析 | 第24-34页 |
| 3.2.1 Nd-Fe和Nd-Fe-B薄膜的成分及磁性能 | 第24-25页 |
| 3.2.2 衬底对Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜磁性能的影响 | 第25-26页 |
| 3.2.3 缓冲层(覆盖层)材料对Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜磁性能的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.4 退火过程Ta/Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)/Ta薄膜的磁性能及微观结构演变 | 第27-34页 |
| 3.3 小结 | 第34-36页 |
| 4 Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜的磁性能增强 | 第36-46页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 结果与分析 | 第36-45页 |
| 4.2.1 薄膜成分对Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜磁性能的影响 | 第36-38页 |
| 4.2.2 磁性层厚度对Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜磁性能的影响 | 第38-42页 |
| 4.2.3 隔离层对Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)薄膜磁性能的影响 | 第42-45页 |
| 4.3 小结 | 第45-46页 |
| 5 [Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)]_n薄膜的磁性能及元素扩散行为 | 第46-52页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 结果与分析 | 第46-50页 |
| 5.2.1 [Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)]_n薄膜的磁性能 | 第46-48页 |
| 5.2.2 [Nd-Fe(富Nd)/Nd-Fe-B(富Fe)]_n薄膜的元素演变行为 | 第48-50页 |
| 5.3 小结 | 第50-52页 |
| 6 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |
