| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-63页 |
| 1.1 前言 | 第14-15页 |
| 1.2 溅射与薄膜的生长 | 第15-19页 |
| 1.2.1 磁控溅射工作原理 | 第15页 |
| 1.2.2 薄膜的生长模式 | 第15-18页 |
| 1.2.3 薄膜的外延生长 | 第18-19页 |
| 1.3 薄膜的硬度 | 第19-25页 |
| 1.3.1 超硬薄膜材料 | 第20-22页 |
| 1.3.2 薄膜的硬度测量 | 第22-25页 |
| 1.4 薄膜的摩擦与磨损 | 第25-35页 |
| 1.4.1 薄膜的摩擦 | 第27-29页 |
| 1.4.2 薄膜的磨损 | 第29-31页 |
| 1.4.3 耐磨涂层的设计 | 第31-35页 |
| 1.5 纳米复合薄膜与纳米多层膜 | 第35-42页 |
| 1.5.1 纳米复合薄膜 | 第35-39页 |
| 1.5.2 纳米多层膜 | 第39-42页 |
| 1.6 过渡族金属碳化物与氮化物 | 第42-50页 |
| 1.6.1 过渡族金属碳化物 | 第42-45页 |
| 1.6.2 二元碳基纳米复合材料 | 第45-46页 |
| 1.6.3 NbC薄膜的研究现状 | 第46-47页 |
| 1.6.4 过渡族金属氮化物 | 第47-49页 |
| 1.6.5 NbN薄膜的研究现状 | 第49-50页 |
| 1.7 本论文的选题依据和研究内容 | 第50-52页 |
| 1.8 本章小结 | 第52页 |
| 参考文献 | 第52-63页 |
| 第2章 沉积条件对NbC薄膜的结构、力学及摩擦学性能影响的研究 | 第63-110页 |
| 2.1 基片偏压对NbC薄膜的微观结构、力学和摩擦学性能影响的研究 | 第63-78页 |
| 2.1.1 前言 | 第63-64页 |
| 2.1.2 实验 | 第64-65页 |
| 2.1.2.1 实验条件 | 第64-65页 |
| 2.1.2.2 表征方法 | 第65页 |
| 2.1.3 实验结果和讨论 | 第65-78页 |
| 2.1.3.1 微观结构,组分和表面形貌 | 第65-72页 |
| 2.1.3.2 残余应力和硬度 | 第72-75页 |
| 2.1.3.3 摩擦磨损性质 | 第75-78页 |
| 2.2 碳含量对NbC薄膜的结构化学键态、力学和摩擦学性能的研究 | 第78-95页 |
| 2.2.1 前言 | 第78页 |
| 2.2.2 实验 | 第78-79页 |
| 2.2.2.1 样品沉积 | 第78页 |
| 2.2.2.2 结构和性质 | 第78-79页 |
| 2.2.3 实验结果和讨论 | 第79-95页 |
| 2.2.3.1 沉积率 | 第79-80页 |
| 2.2.3.2 薄膜的组分和化学键态 | 第80-84页 |
| 2.2.3.3 薄膜的结构和形貌 | 第84-90页 |
| 2.2.3.4 残余应力及硬度 | 第90-93页 |
| 2.2.3.5 摩擦学性能 | 第93-95页 |
| 2.3 基片温度对NbC薄膜的微观结构,力学和摩擦性能的影响 | 第95-102页 |
| 2.4 本章小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-110页 |
| 第3章 溅射沉积NbC_xN_y薄膜：氮含量对其结构、力学及摩擦学性能的影响 | 第110-135页 |
| 3.1 前言 | 第110-111页 |
| 3.2 实验细节 | 第111-112页 |
| 3.2.1 样品制备 | 第111页 |
| 3.2.2 样品表征 | 第111-112页 |
| 3.3 实验结果和讨论 | 第112-128页 |
| 3.3.1 组分和化学键态 | 第112-117页 |
| 3.3.2 结构和形貌 | 第117-121页 |
| 3.3.3 残余应力和硬度 | 第121-124页 |
| 3.3.4 摩擦磨损性质与润湿性 | 第124-128页 |
| 3.4 本章小结 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-135页 |
| 第4章 NbN基纳米多层膜的微观结构、力学及摩擦学性能研究 | 第135-171页 |
| 4.1 立方NbN/CN_x纳米多层膜的结构、力学及摩擦学性能 | 第135-150页 |
| 4.1.1 前言 | 第135-136页 |
| 4.1.2 实验条件及样品表征 | 第136-137页 |
| 4.1.3 结果和讨论 | 第137-150页 |
| 4.1.3.1 单层膜的结构 | 第137-138页 |
| 4.1.3.2 多层膜的结构 | 第138-141页 |
| 4.1.3.3 应力和硬度 | 第141-146页 |
| 4.1.3.4 摩擦磨损性质 | 第146-150页 |
| 4.2 六方NbN/CN_x纳米多层膜的结构和力学性能 | 第150-156页 |
| 4.2.1 前言 | 第150页 |
| 4.2.2 实验条件及样品表征 | 第150页 |
| 4.2.3 结果和讨论 | 第150-156页 |
| 4.2.3.1 单层膜的结构 | 第150-152页 |
| 4.2.3.2 多层膜的结构 | 第152-155页 |
| 4.2.3.3 多层膜的硬度 | 第155-156页 |
| 4.3 NbN/NbCN纳米多层膜的结构,力学及摩擦学性能 | 第156-164页 |
| 4.3.1 前言 | 第156-157页 |
| 4.3.2 实验条件和样品表征 | 第157页 |
| 4.3.3 实验结果与讨论 | 第157-164页 |
| 4.3.3.1 单层膜的结构 | 第157-158页 |
| 4.3.3.2 NbN/NbCN多层膜的结构和形貌 | 第158-162页 |
| 4.3.3.3 NbN/NbCN多层膜的力学摩擦学性能 | 第162-164页 |
| 4.4 本章小结 | 第164-165页 |
| 参考文献 | 第165-171页 |
| 第5章 MgO(100)上外延生长NbN、NbCN薄膜及其物理特性 | 第171-196页 |
| 5.1 MgO(100)上外延生长NbN薄膜的结构、力学及电学性质 | 第171-182页 |
| 5.1.1 前言 | 第171-172页 |
| 5.1.2 实验条件与样品表征 | 第172-173页 |
| 5.1.3 结果与讨论 | 第173-182页 |
| 5.2 MgO(100)上外延生长NbCxNy薄膜的结构、力学及电学性质 | 第182-190页 |
| 5.2.1 前言 | 第182-183页 |
| 5.2.2 实验条件与样品表征 | 第183页 |
| 5.2.3 结果与讨论 | 第183-190页 |
| 5.3 本章小结 | 第190-191页 |
| 参考文献 | 第191-196页 |
| 第6章 本文总结 | 第196-200页 |
| 作者简介 | 第200-202页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及参加的会议 | 第202-206页 |
| 致谢 | 第206-207页 |
