| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 几种常见的红外窗口材料 | 第11-14页 |
| 1.3 几种常见的红外透明导电薄膜体系 | 第14-24页 |
| 1.3.1 金属薄膜 | 第14-16页 |
| 1.3.2 金属网栅薄膜 | 第16-17页 |
| 1.3.3 新型透明碳材料薄膜 | 第17-19页 |
| 1.3.4 氧化物薄膜 | 第19-24页 |
| 1.4 Mg-C-O-H薄膜的研究现状 | 第24-27页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 材料制备及实验方法 | 第28-36页 |
| 2.1 实验设计 | 第28页 |
| 2.2 Mg-C-O-H薄膜的制备 | 第28-32页 |
| 2.2.1 薄膜制备材料 | 第28页 |
| 2.2.2 薄膜沉积系统 | 第28-30页 |
| 2.2.3 薄膜沉积过程 | 第30-32页 |
| 2.3 实验的表征方法 | 第32-36页 |
| 2.3.1 厚度表征 | 第32页 |
| 2.3.2 结构表征 | 第32-33页 |
| 2.3.3 成分及化学键合表征 | 第33-34页 |
| 2.3.4 电学性能表征 | 第34页 |
| 2.3.5 光学性能表征 | 第34页 |
| 2.3.6 力学性能表征 | 第34-36页 |
| 第3章 溅射功率对Mg-C-O-H薄膜性能的影响 | 第36-52页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 溅射功率对薄膜沉积速率的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 晶体结构 | 第37-41页 |
| 3.4 表面形貌 | 第41-45页 |
| 3.5 薄膜的电学性能 | 第45-47页 |
| 3.6 薄膜的光学性能 | 第47-51页 |
| 3.6.1 Mg-C-O-H薄膜的可见光学性能 | 第48-49页 |
| 3.6.2 Mg-C-O-H薄膜的红外光学性能 | 第49-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 衬底温度对Mg-C-O-H薄膜性能的影响 | 第52-60页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 不同衬底温度下薄膜的晶体结构 | 第52-54页 |
| 4.3 不同衬底温度下的薄膜表面形貌 | 第54-55页 |
| 4.4 Mg-C-O-H薄膜的电学性能 | 第55-56页 |
| 4.5 Mg-C-O-H薄膜的光学性能 | 第56-58页 |
| 4.5.1 Mg-C-O-H薄膜的可见光学性能 | 第56-57页 |
| 4.5.2 Mg-C-O-H薄膜的红外光学性能 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小节 | 第58-60页 |
| 第5章 退火对Mg-C-O-H薄膜性能的影响 | 第60-79页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 退火后晶体结构 | 第60-62页 |
| 5.3 表面形貌 | 第62-65页 |
| 5.4 Mg-C-O-H薄膜的元素化学键合态分析 | 第65-70页 |
| 5.5 Mg-C-O-H薄膜的电学性能 | 第70-73页 |
| 5.6 Mg-C-O-H薄膜的光学性能 | 第73-76页 |
| 5.6.1 Mg-C-O-H薄膜的可见光学性能 | 第73-75页 |
| 5.6.2 Mg-C-O-H薄膜的红外光学性能 | 第75-76页 |
| 5.7 Mg-C-O-H薄膜的力学性能 | 第76-77页 |
| 5.8 本章小节 | 第77-79页 |
| 第6章 Mg-C-O-H薄膜光电性能的调控机制 | 第79-87页 |
| 6.1 引言 | 第79页 |
| 6.2 Mg-C-O-H薄膜中电子的输运机制 | 第79-81页 |
| 6.3 Mg-C-O-H薄膜禁带宽度的调控 | 第81-83页 |
| 6.4 Mg-C-O-H薄膜载流子浓度与等离子波长的调控 | 第83-85页 |
| 6.5 本章小节 | 第85-87页 |
| 结论 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-98页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第98-100页 |
| 致谢 | 第100页 |