压电式MEMS传感器的稳健设计研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究的背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外相关研究进展概况 | 第10-14页 |
| 1.2.1 压电式传感器的研究进展 | 第10-12页 |
| 1.2.2 稳健设计的研究进展 | 第12-14页 |
| 1.3 本论文主要的研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 压电式MEMS传感器的稳健设计原理 | 第16-26页 |
| 2.1 压电式MEMS传感器的工作原理分析 | 第16-18页 |
| 2.1.1 压电效应与材料 | 第16页 |
| 2.1.2 压电方程及压电常数 | 第16-17页 |
| 2.1.3 等效电路和测量电路 | 第17-18页 |
| 2.2 MEMS传感器的稳健设计原理研究 | 第18-25页 |
| 2.2.1 基于随机模型的稳健设计原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 基于容差模型的稳健设计原理 | 第20-23页 |
| 2.2.3 基于模糊模型的稳健设计原理 | 第23-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 单根纳米纤维压电性能的稳健设计研究 | 第26-34页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 压电纳米纤维的静态模型 | 第26-29页 |
| 3.2.1 MEMS传感器的结构 | 第26-27页 |
| 3.2.2 单根纳米纤维的压电性能 | 第27-29页 |
| 3.3 单根ZNO纳米纤维压电性能的稳健设计示例 | 第29-33页 |
| 3.3.1 建立稳健设计数学模型 | 第29-30页 |
| 3.3.2 模型求解 | 第30-31页 |
| 3.3.3 结果分析 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 压电双晶梁MEMS传感器的稳健设计研究 | 第34-46页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 压电双晶梁的静态模型 | 第34-37页 |
| 4.2.1 压电双晶梁的结构 | 第34-35页 |
| 4.2.2 压电双晶梁的压电性能 | 第35-37页 |
| 4.3 压电双晶梁MEMS传感器的稳健设计示例 | 第37-45页 |
| 4.3.1 建立稳健设计数学模型 | 第37-40页 |
| 4.3.2 模型求解 | 第40-41页 |
| 4.3.3 结果分析 | 第41-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 压电双晶梁MEMS传感器的有限元仿真 | 第46-58页 |
| 5.1 压电双晶梁MEMS传感器的压电分析 | 第46-55页 |
| 5.1.1 压电分析的理论背景 | 第46-47页 |
| 5.1.2 编写压电分析的APDL | 第47-49页 |
| 5.1.3 结果与分析 | 第49-55页 |
| 5.2 ANSYS仿真验证稳健设计结果 | 第55-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 主要结论 | 第58页 |
| 6.2 研究展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 在学期间的研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
