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射频磁控溅射法制备ZnO:Eu3+薄膜及其发光研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-10页
CONTENT第10-13页
第一章 绪论第13-31页
   ·ZnO的结构及其基本性质第13-17页
     ·ZnO的晶体结构第13-14页
     ·ZnO的能带结构第14页
     ·ZnO的缺陷及掺杂第14-15页
     ·ZnO薄膜的光学性质第15-17页
   ·稀土的电子结构与能带结构第17-23页
     ·稀土元素的基本性质和电子层结构第18-20页
     ·稀土的能级和跃迁第20-23页
   ·ZnO:Eu~(3+)发光材料的基本理论和研究进展第23-29页
     ·能量传输与发光第23-24页
     ·Eu~(3+)发光材料的发光机理第24-27页
     ·ZnO:Eu~(3+)发光材料的研究进展第27-29页
   ·本文研究的目的与内容第29-31页
第二章 磁控溅射法制备ZnO:Eu~(3+)薄膜及其检测第31-39页
   ·ZnO:Eu~(3+)薄膜的制备第31-36页
     ·磁控溅射法的原理及特点第31-34页
     ·薄膜的制备第34-36页
   ·ZnO:Eu~(3+)薄膜的表征方法第36-39页
     ·X射线衍射(XRD)第36-37页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第37-38页
     ·荧光光谱仪第38-39页
第三章 溅射功率对ZnO:Eu~(3+)薄膜结构和发光性能的影响第39-47页
   ·XRD谱及分析第39-41页
   ·SEM谱及分析第41-42页
   ·PL谱及PLE谱分析第42-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 氧氩比对ZnO:Eu~(3+)薄膜结构和发光性能的影响第47-57页
   ·XRD谱及分析第47-49页
   ·PL谱及PLE谱分析第49-55页
   ·本章小结第55-57页
第五章 衬底温度、退火气氛和掺杂量对ZnO:Eu~(3+)薄膜发光性能的影响第57-63页
   ·衬底温度第57-60页
     ·样品制备条件第57页
     ·PL谱及分析第57-58页
     ·SEM谱及分析第58-60页
   ·退火气氛第60-61页
     ·样品制备条件第60页
     ·PL谱及分析第60-61页
   ·Eu~(3+)掺杂浓度第61-62页
     ·样品制备条件第61页
     ·PL谱及分析第61-62页
   ·本章小结第62-63页
结论第63-65页
 论文创新点第64页
 有待进一步开展的工作第64-65页
参考文献第65-68页
攻读硕士期间发表的论文第68-70页
致谢第70页

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