| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 符号及释义对照表 | 第18-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-35页 |
| 1.1 课题的来源及意义 | 第19-21页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第19页 |
| 1.1.2 课题的研究背景及意义 | 第19-21页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第21-32页 |
| 1.2.1 柱面镜检测方法综述 | 第21-25页 |
| 1.2.2 圆柱度误差检测方法综述 | 第25-28页 |
| 1.2.3 子孔径拼接干涉测量文献综述 | 第28-32页 |
| 1.3 论文的主要研究工作 | 第32-35页 |
| 第二章 柱面检测中的失调像差分离方法 | 第35-69页 |
| 2.1 引言 | 第35页 |
| 2.2 柱面干涉检测中的调整误差及其分类 | 第35-39页 |
| 2.2.1 调整误差的分类 | 第36页 |
| 2.2.2 现有的失调像差分离方法 | 第36-39页 |
| 2.3 低阶失调像差的分离方法 | 第39-53页 |
| 2.3.1 低阶失调像差模型的建立 | 第39-43页 |
| (1) 沿着y轴移动引起的失调像差 | 第39-40页 |
| (2) 沿着z轴移动引起的失调像差 | 第40-41页 |
| (3) 绕着y轴转动引起的失调像差 | 第41-42页 |
| (4) 绕着z轴转动引起的失调像差 | 第42-43页 |
| 2.3.2 数值仿真分析 | 第43-45页 |
| 2.3.3 实验分析 | 第45-53页 |
| 2.4 高阶失调像差的分离方法 | 第53-67页 |
| 2.4.1 高阶失调像差模型的建立 | 第53-56页 |
| (1) 沿着z方向移动t_z | 第54页 |
| (2) 沿着y方向移动t_y | 第54-55页 |
| (3) 绕着z轴转动θ_z | 第55页 |
| (4) 绕着y轴转动θ_y | 第55-56页 |
| 2.4.2 高阶失调像差分离方法 | 第56-61页 |
| (1) 二维Legendre多项式 | 第56-59页 |
| (2) 基于二维Legendre多项式的高阶失调像差补偿方法 | 第59-61页 |
| 2.4.3 实验分析 | 第61-67页 |
| (1) 单个调整误差的补偿实验 | 第62-63页 |
| (2) 复合调整误差的补偿实验 | 第63-65页 |
| (3) 矩形口径的补偿实验 | 第65-67页 |
| 2.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第三章 柱面干涉拼接实验装置及其调整方法 | 第69-81页 |
| 3.1 引言 | 第69页 |
| 3.2 柱面干涉拼接实验装置 | 第69-74页 |
| 3.2.1 柱面干涉拼接装置的结构设计 | 第70-71页 |
| 3.2.2 柱面干涉拼接装置的指标要求 | 第71-74页 |
| (1) 拼接装置分辨率的确定 | 第72页 |
| (2) 拼接装置行程的确定 | 第72-74页 |
| 3.3 拼接装置的调整方法 | 第74-79页 |
| 3.3.1 CGH的调整方法 | 第74-76页 |
| 3.3.2 被测工件的调整方法 | 第76-79页 |
| (1) 粗调 | 第76页 |
| (2) 细调 | 第76-77页 |
| (3) 精调 | 第77-79页 |
| 3.4 本章小结 | 第79-81页 |
| 第四章 柱面干涉拼接测量方法及其实验 | 第81-109页 |
| 4.1 引言 | 第81页 |
| 4.2 大孔径角的柱面镜的干涉拼接测量 | 第81-90页 |
| 4.2.1 单孔径柱面干涉检测 | 第82-83页 |
| 4.2.2 柱面干涉拼接算法 | 第83-86页 |
| (1) 两个子孔径的柱面干涉拼接模型 | 第83-85页 |
| (2) 多孔径的柱面干涉拼接模型 | 第85-86页 |
| 4.2.3 数值仿真分析 | 第86-88页 |
| 4.2.4 实验分析 | 第88-90页 |
| 4.3 基于干涉拼接法的圆柱度误差测量与评估 | 第90-107页 |
| 4.3.1 圆柱体的干涉拼接算法 | 第91-97页 |
| (1) 单孔径的失调像差分离 | 第93页 |
| (2) 子孔径数据的坐标变换 | 第93-95页 |
| (3) 圆柱体的干涉拼接算法 | 第95-97页 |
| 4.3.2 圆柱度误差的评定 | 第97-98页 |
| 4.3.3 圆柱体拼接干涉算法的数值仿真分析 | 第98-100页 |
| 4.3.4 实验分析 | 第100-107页 |
| (1) 玻璃圆柱体的干涉拼接测量与圆柱度误差评定 | 第101-104页 |
| (2) 高精度金属圆柱体的干涉拼接测量与圆柱度误差评定 | 第104-107页 |
| 4.4 本章小结 | 第107-109页 |
| 第五章 柱面干涉拼接测量中的误差分析 | 第109-121页 |
| 5.1 引言 | 第109页 |
| 5.2 柱面干涉拼接测量的误差因素分析 | 第109-110页 |
| 5.3 柱面干涉拼接测量的误差抑制方法 | 第110-118页 |
| 5.3.1 干涉仪系统误差的抑制 | 第110-113页 |
| (1) 系统误差分析及抑制方法 | 第110-111页 |
| (2) 数值仿真分析 | 第111-113页 |
| 5.3.2 高阶失调像差对柱面干涉拼接的影响 | 第113-118页 |
| (1) 数值仿真分析 | 第114-115页 |
| (2) 实验验证 | 第115-118页 |
| 5.4 本章小结 | 第118-121页 |
| 第六章 总结和展望 | 第121-127页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第121-124页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第124-127页 |
| 附录A 附录 | 第127-129页 |
| 参考文献 | 第129-135页 |
| 攻读博士学位期间完成的工作 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |