| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-36页 |
| 1.1 引言 | 第13-16页 |
| 1.2 微波光子链路性能指标 | 第16-18页 |
| 1.3 硅基电光调制器 | 第18-23页 |
| 1.3.1 光学结构 | 第18-19页 |
| 1.3.2 电极结构 | 第19-20页 |
| 1.3.3 调制器非线性原因 | 第20-23页 |
| 1.4 调制器研究现状 | 第23-30页 |
| 1.4.1 高线性度调制器 | 第23-26页 |
| 1.4.2 硅基调制器的线性化工作 | 第26-30页 |
| 1.5 本文的主要内容与结构安排 | 第30-31页 |
| 1.6 参考文献 | 第31-36页 |
| 第2章 硅基MZM调制非线性研究 | 第36-53页 |
| 2.1 硅基PN结非线性 | 第36-42页 |
| 2.1.1 硅基PN结设计 | 第37-38页 |
| 2.1.2 Silvaco TCAD仿真软件的简述 | 第38-39页 |
| 2.1.3 PN结的仿真过程 | 第39-42页 |
| 2.2 硅基MZM调制非线性 | 第42-50页 |
| 2.2.1 Single-MZM模型建立 | 第42-44页 |
| 2.2.2 非线性分析 | 第44-50页 |
| 2.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 2.4 参考文献 | 第51-53页 |
| 第3章 硅基MZM组合的非线性研究 | 第53-67页 |
| 3.1 Parallel-MZM模型 | 第54-60页 |
| 3.1.1 Parallel-MZM模型建立 | 第54-55页 |
| 3.1.2 非线性分析 | 第55-60页 |
| 3.2 Series-MZM模型 | 第60-64页 |
| 3.2.1 Series-MZM模型建立 | 第60-61页 |
| 3.2.2 非线性分析 | 第61-64页 |
| 3.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 3.4 参考文献 | 第66-67页 |
| 第4章 高线性度微波光链路方法 | 第67-82页 |
| 4.1 基于双偏振MZM的高线性微波链路方法 | 第67-74页 |
| 4.1.1 双偏振MZM理论分析 | 第68-69页 |
| 4.1.2 双偏振硅基MZM高线性方案 | 第69-74页 |
| 4.2 基于双波长微环调制器的高线性微波链路方法 | 第74-80页 |
| 4.2.1 微环调制器理论分析 | 第75-78页 |
| 4.2.2 双波长微环调制器高线性方案 | 第78-80页 |
| 4.3 本章小结 | 第80页 |
| 4.4 参考文献 | 第80-82页 |
| 第5章 版图设计 | 第82-92页 |
| 5.1 IMEC流片工艺 | 第82-84页 |
| 5.2 版图设计介绍及实验方法 | 第84-91页 |
| 5.3 参考文献 | 第91-92页 |
| 第6章 总结与展望 | 第92-94页 |
| 作者简历及在学期所取得的科研成果 | 第94页 |