| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·衍射光学元件简介 | 第9-10页 |
| ·折衍二元光学元件国内外发展应用现状 | 第10-12页 |
| ·折衍二元光学元件国内外应用现状 | 第10页 |
| ·折衍二元光学元件的制造技术及国内外现状 | 第10-12页 |
| ·红外玻璃模压技术 | 第12-13页 |
| ·论文的选题背景,研究内容与主要工作 | 第13-15页 |
| ·衍射面模具的制造 | 第14-15页 |
| ·红外玻璃模压技术 | 第15页 |
| ·本文组织结构 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 2 模压及刻蚀技术原理介绍 | 第17-21页 |
| ·模压技术简介 | 第17-19页 |
| ·聚合物转移层模压成型技术 | 第17-18页 |
| ·红外玻璃模压成型技术 | 第18-19页 |
| ·ICP刻蚀技术简介 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 模具制造 | 第21-42页 |
| ·聚合物转移层衍射微结构的成型 | 第22-32页 |
| ·衍射微结构热模压 | 第22-25页 |
| ·衍射微结构软模压 | 第25-32页 |
| ·SiC基底上衍射微结构的刻蚀转移 | 第32-41页 |
| ·SiC/环氧树脂刻蚀比研究 | 第32-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 红外玻璃的模压及检测 | 第42-52页 |
| ·红外玻璃参数 | 第42-44页 |
| ·Ge_(33)Se_(55)As_(12)红外玻璃的模压 | 第44-49页 |
| ·模压机设计部分 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 工作总结与展望 | 第52-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |