光束整形及其在飞秒激光微加工领域的应用研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·研究背景 | 第12-16页 |
| ·超快激光器的发展 | 第12-13页 |
| ·超快激光微加工技术的应用现状及发展趋势 | 第13-16页 |
| ·研究的目的及意义 | 第16-17页 |
| ·文章的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 光束整形方法及基本理论 | 第18-32页 |
| ·光束整形的方法 | 第18-22页 |
| ·衍射光学元件 | 第18页 |
| ·微透镜阵列 | 第18-19页 |
| ·长焦深整形系统 | 第19页 |
| ·液晶空间光调制器 | 第19-20页 |
| ·非球面透镜组 | 第20-21页 |
| ·双折射透镜组 | 第21-22页 |
| ·高斯光束的理论模型 | 第22-23页 |
| ·平顶光束理论模型 | 第23-31页 |
| ·超高斯光束 | 第23-25页 |
| ·平顶高斯光束 | 第25-26页 |
| ·平顶洛伦兹光束 | 第26-28页 |
| ·费米-狄拉克光束 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 非球面整形系统的设计、分析、模拟与实验 | 第32-64页 |
| ·非球面整形系统的设计 | 第32-33页 |
| ·参数分析 | 第33-39页 |
| ·参数对伽利略系统非球面面型的影响 | 第33-36页 |
| ·参数对开普勒系统非球面面型的影响 | 第36-39页 |
| ·面型曲线的拟合 | 第39-41页 |
| ·计算机仿真 | 第41-43页 |
| ·误差分析 | 第43-53页 |
| ·非球面镜片加工的可行性分析 | 第53-54页 |
| ·整形效果对比实验 | 第54-62页 |
| ·π-shaper光束整形实验 | 第54-60页 |
| ·聚焦型非球面镜整形实验 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 超快激光微加工实验 | 第64-84页 |
| ·飞秒激光微加工实验系统 | 第64-69页 |
| ·实验平台 | 第64-65页 |
| ·飞秒激光器 | 第65-66页 |
| ·光学元件 | 第66-67页 |
| ·三维运动平台 | 第67页 |
| ·控制系统 | 第67-69页 |
| ·实验方法 | 第69-71页 |
| ·能量分布对加工效果的影响 | 第71-72页 |
| ·加工钛箔的对比实验 | 第72-78页 |
| ·加工钛合金的对比实验 | 第78-80页 |
| ·加工蓝宝石的对比实验 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 结论与展望 | 第84-86页 |
| ·工作总结 | 第84-85页 |
| ·展望 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第90页 |
