| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第12-18页 |
| ·太阳能电池的发展趋势 | 第12-14页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展现状 | 第14-16页 |
| ·薄膜太阳能电池的优势和面临的挑战 | 第16-18页 |
| ·绒面AZO透明导电薄膜 | 第18-23页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第18-19页 |
| ·绒面AZO薄膜的研究现状 | 第19-22页 |
| ·绒面AZO薄膜在太阳能电池上的的应用 | 第22-23页 |
| ·选题思想及意义 | 第23-24页 |
| ·本文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 2 实验设备与测试仪器 | 第25-28页 |
| ·直流磁控溅射装置 | 第25-26页 |
| ·设备的主要技术规格 | 第25页 |
| ·实验操作程序 | 第25-26页 |
| ·薄膜的性能表征 | 第26-27页 |
| ·电学性能测试 | 第26页 |
| ·光学性能分析 | 第26-27页 |
| ·表面形貌分析 | 第27页 |
| ·厚度测量 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 绒面AZO薄膜的制备 | 第28-36页 |
| ·理论分析 | 第28-29页 |
| ·绒面的定义和表征 | 第28页 |
| ·绒面的陷光效果 | 第28-29页 |
| ·绒面AZO薄膜的制备工艺 | 第29-35页 |
| ·湿法刻蚀 | 第29-30页 |
| ·优化平面AZO薄膜制备参数 | 第30-32页 |
| ·湿法蚀刻法腐蚀平面AZO薄膜 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 AZO薄膜表面织构机理 | 第36-42页 |
| ·酸与AZO薄膜表面反应动力学模式 | 第36-37页 |
| ·绒面AZO薄膜表面织构机理 | 第37-39页 |
| ·腐蚀缺陷控制模型 | 第37页 |
| ·表面织构机理分析 | 第37-39页 |
| ·反应气压对薄膜绒面结构和反应机理的影响 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 醋酸对绒面AZO薄膜光电性能和表面织构均匀性的影响 | 第42-50页 |
| ·醋酸对表面反应的作用机理 | 第42-44页 |
| ·空间位阻效应 | 第42页 |
| ·醋酸对表面反应的作用机理 | 第42-44页 |
| ·醋酸对绒面AZO薄膜光电性能的影响 | 第44-47页 |
| ·醋酸对腐蚀后的AZO薄膜的电学性能的影响 | 第44-45页 |
| ·醋酸对绒面AZO薄膜绒度的影响 | 第45-47页 |
| ·醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响 | 第47-49页 |
| ·本节小结 | 第49-50页 |
| 6 总结 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第58页 |