子孔径测试的非球面光学元件检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·研究背景及意义 | 第8页 |
| ·非球面检测研究现状 | 第8-14页 |
| ·补偿法 | 第9页 |
| ·全息法 | 第9-10页 |
| ·无像差点法 | 第10-11页 |
| ·子孔径拼接法 | 第11-14页 |
| ·论文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 非球面光学元件 | 第15-22页 |
| ·非球面元件的分类 | 第15页 |
| ·非球面元件的分析 | 第15-21页 |
| ·非球面方程 | 第16页 |
| ·二次曲面 | 第16-18页 |
| ·二次曲线的光学特性 | 第18-19页 |
| ·最接近比较球面 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 子孔径拼接 | 第22-39页 |
| ·子孔径拼接的分类 | 第22-25页 |
| ·子孔径形状分类 | 第22-23页 |
| ·子孔径拼接模式分类 | 第23-25页 |
| ·测试基本原理 | 第25-27页 |
| ·子孔径拼接算法 | 第27-31页 |
| ·逐次拼接算法 | 第27-29页 |
| ·全局综合优化拼接算法 | 第29-31页 |
| ·泽尼克多项式拟合 | 第31-38页 |
| ·泽尼克多项式拟合的基本原理 | 第32-35页 |
| ·泽尼克多项式拟合的一些关键技术问题 | 第35-38页 |
| ·检测评价参数 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 模拟实验及仿真 | 第39-54页 |
| ·模拟检测过程概述 | 第39页 |
| ·子孔径的划分 | 第39-45页 |
| ·理论推导 | 第39-44页 |
| ·影响子孔径划分的因素 | 第44-45页 |
| ·模型分析与仿真 | 第45-52页 |
| ·不同算法的仿真对比 | 第48-51页 |
| ·结果分析 | 第51-52页 |
| ·泽尼克拟合及消倾斜处理 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 误差分析 | 第54-57页 |
| ·拼接误差 | 第54页 |
| ·模型误差 | 第54页 |
| ·实际误差 | 第54-56页 |
| ·干涉仪误差 | 第54-56页 |
| ·机械误差 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 总结与展望 | 第57-58页 |
| ·总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
