| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·课题研究的背景、目的及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·MEMS 技术概念 | 第12-13页 |
| ·MEMS 的发展历程 | 第13-14页 |
| ·MEMS 技术与微电子技术的区别 | 第14-15页 |
| ·MEMS 技术的发展趋势 | 第15页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第15-18页 |
| 第二章 微传感器与加速度计 | 第18-29页 |
| ·微机械加工技术介绍 | 第18-24页 |
| ·表面微机械加工 | 第18-20页 |
| ·体微机械加工技术 | 第20-23页 |
| ·LIGA 技术 | 第23-24页 |
| ·微加速度计的结构与工作原理 | 第24-27页 |
| ·MEMS 加速度计的简介与背景 | 第24-25页 |
| ·MEMS 加速度计的工作原理 | 第25-27页 |
| ·微加速度计的分类 | 第27-28页 |
| ·电容式微加速度计 | 第27页 |
| ·压阻式微加速度计 | 第27-28页 |
| ·隧道式微加速度计 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 光子晶体及其器件概述 | 第29-48页 |
| ·光子晶体的概念性质及结构 | 第29-35页 |
| ·光子晶体的提出与定义 | 第29-30页 |
| ·光子晶体的结构 | 第30-32页 |
| ·光子晶体的特性 | 第32-35页 |
| ·光子晶体的制备方法 | 第35-41页 |
| ·精密机械加工法 | 第36页 |
| ·逐层叠加法 | 第36-37页 |
| ·半导体工艺法 | 第37-38页 |
| ·软印刷法 | 第38-39页 |
| ·激光直写技术 | 第39-40页 |
| ·激光全息技术 | 第40-41页 |
| ·光子晶体的分析方法介绍 | 第41-43页 |
| ·平面波展开法 | 第41-42页 |
| ·时域有限差分法 | 第42页 |
| ·传输矩阵法 | 第42-43页 |
| ·多重散射法 | 第43页 |
| ·光子晶体应用 | 第43-47页 |
| ·光子晶体光纤 | 第43-44页 |
| ·光子晶体波导 | 第44-45页 |
| ·高效率反射镜 | 第45-46页 |
| ·超棱镜与隐身衣 | 第46页 |
| ·光子晶体传感器 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 镜像异质三周期光子晶体加速度计的结构设计与模拟仿真 | 第48-58页 |
| ·介观效应的提出 | 第48-50页 |
| ·介观压阻效应 | 第48-50页 |
| ·介观压光效应 | 第50页 |
| ·镜像异质三周期光子晶体的光学特性研究 | 第50-53页 |
| ·新型“四悬臂梁-质量块”光子晶体加速度计的结构设计 | 第53-55页 |
| ·四臂加速度计的有限元模拟 | 第55-57页 |
| ·静态分析 | 第55-56页 |
| ·模态分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-61页 |
| ·工作总结 | 第58-59页 |
| ·工作展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |