可用于谐振式陀螺的厘米级高Q值平面微腔的关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·集成光波导陀螺发展简述 | 第9-12页 |
| ·光学微腔概述 | 第12-14页 |
| ·文章安排 | 第14-16页 |
| 第二章 陀螺灵敏度分析 | 第16-21页 |
| ·谐振频差 | 第16-18页 |
| ·陀螺极限灵敏度 | 第18-20页 |
| 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 光学谐振腔 | 第21-31页 |
| ·谐振腔原理 | 第21-22页 |
| ·谐振腔特征简介 | 第22-25页 |
| ·谐振腔性质及应用 | 第25-30页 |
| ·谐振特性 | 第25-27页 |
| ·选频特性 | 第27-30页 |
| 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 楔形腔制作 | 第31-45页 |
| ·前期调研 | 第31-32页 |
| ·制作流程 | 第32-41页 |
| ·氧化层的生成 | 第33-34页 |
| ·掩膜层的选定 | 第34-36页 |
| ·光刻 | 第36-37页 |
| ·楔形腔的腐蚀 | 第37-39页 |
| ·去除光刻胶 | 第39-40页 |
| ·硅柱的刻蚀 | 第40-41页 |
| ·楔角的控制 | 第41-42页 |
| ·工艺总结 | 第42-43页 |
| 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 耦合测试实验 | 第45-49页 |
| ·测试系统 | 第45-46页 |
| ·耦合实验 | 第46-48页 |
| ·耦合位置 | 第46-47页 |
| ·耦合波段 | 第47-48页 |
| 本章总结 | 第48-49页 |
| 第六章 谐振腔优化设计 | 第49-54页 |
| ·耦合系数对 Q 值的影响 | 第49-50页 |
| ·谐振腔尺寸对 Q 值影响 | 第50-51页 |
| ·表面粗糙度 | 第51-52页 |
| ·内部缺陷 | 第52页 |
| 本章总结 | 第52-54页 |
| 第七章 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·文章内容总结 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
