| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·非晶硅锗薄膜太阳能电池现状及研究意义 | 第10-14页 |
| ·本论文的内容和结构 | 第14-16页 |
| 2 非晶硅锗材料与电池基础及其特性表征方法 | 第16-27页 |
| ·非晶硅锗材料 | 第16-18页 |
| ·非晶薄膜太阳能电池 | 第18-19页 |
| ·非晶薄膜沉积基础 | 第19-23页 |
| ·材料特性表征方法 | 第23-25页 |
| ·电池特性表征方法 | 第25页 |
| ·小结 | 第25-27页 |
| 3 器件质量级非晶硅锗薄膜的制备 | 第27-45页 |
| ·非晶硅锗薄膜制备工艺流程 | 第27页 |
| ·工艺参数对非晶硅锗材料性能的影响 | 第27-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 4 非晶硅锗太阳能电池研究 | 第45-55页 |
| ·非晶硅锗太阳能电池制备 | 第45-46页 |
| ·电池窗口层研究 | 第46-48页 |
| ·电池界面层研究 | 第48-51页 |
| ·本征层厚度研究 | 第51-52页 |
| ·背接触层研究 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 5 总结与展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-65页 |
| 附录 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |