离子束抛光去除特性研究
| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第11-13页 |
| ·离子源及抛光原理 | 第13-16页 |
| ·离子源种类 | 第13-14页 |
| ·离子束抛光原理 | 第14-16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 离子束特性研究 | 第18-27页 |
| ·离子束与固体表面相互作用 | 第18-20页 |
| ·离子溅射模型 | 第20-26页 |
| ·离子溅射模拟原理 | 第20-21页 |
| ·离子束能量与能量损失研究 | 第21-23页 |
| ·离子束能量与射程研究 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 溅射模型分析 | 第27-41页 |
| ·二体碰撞模型建立 | 第27-31页 |
| ·二体碰撞理论推导 | 第27-30页 |
| ·计算机模拟 | 第30-31页 |
| ·Sigmund 理论模型分析 | 第31-40页 |
| ·Sigmund 理论推导 | 第31-34页 |
| ·溅射模型仿真研究 | 第34-37页 |
| ·溅射产额修正分析 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 去除函数研究 | 第41-53页 |
| ·去除函数的定义 | 第41-44页 |
| ·去除函数拟合 | 第44-51页 |
| ·最小二乘法拟合 | 第44-47页 |
| ·高斯牛顿迭代拟合 | 第47-50页 |
| ·去除函数形状误差分析 | 第50-51页 |
| ·本章总结 | 第51-53页 |
| 第5章 去除函数影响因素研究 | 第53-72页 |
| ·入射角度对去除函数的影响 | 第53-59页 |
| ·去除速率分析 | 第53-54页 |
| ·不同入射角下去除函数理论分析 | 第54-56页 |
| ·入射角度影响仿真分析 | 第56-58页 |
| ·曲面去除函数获取方法 | 第58-59页 |
| ·加工靶距对去除函数的影响 | 第59-63页 |
| ·加工靶距理论分析 | 第59-61页 |
| ·仿真分析 | 第61-63页 |
| ·温度对去除函数的影响 | 第63-71页 |
| ·温度分析模型 | 第63-65页 |
| ·离子束运行中的能量损失 | 第65-66页 |
| ·离子沉积中的能量损失 | 第66-68页 |
| ·温度影响仿真研究 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结及展望 | 第72-74页 |
| ·全文总结 | 第72-73页 |
| ·研究展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第76页 |
