绒面AZO薄膜的制备与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·前言 | 第7-9页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第9-14页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的种类及特性 | 第9页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的制备方法 | 第9-14页 |
| ·AZO 透明导电膜 | 第14-18页 |
| ·AZO 的结构和性质 | 第14页 |
| ·绒面 AZO 的制备方法 | 第14-15页 |
| ·AZO 的研究进展情况 | 第15-16页 |
| ·AZO 的应用 | 第16-18页 |
| ·研究内容及意义 | 第18-20页 |
| ·主要研究内容 | 第18页 |
| ·研究的意义及创新点 | 第18-19页 |
| ·论文组织架构 | 第19-20页 |
| 第二章 薄膜的制备与测试仪器 | 第20-31页 |
| ·绒面 AZO 薄膜的制备 | 第20-25页 |
| ·实验设备 | 第20-22页 |
| ·实验材料 | 第22页 |
| ·实验步骤 | 第22-25页 |
| ·薄膜的测试仪器 | 第25-31页 |
| ·X 射线衍射仪 | 第25-26页 |
| ·紫外可见分光光度计 | 第26-27页 |
| ·四探针测试仪 | 第27-29页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第29-31页 |
| 第三章 腐蚀时间对 AZO 薄膜性能的影响 | 第31-39页 |
| ·实验参数 | 第31-32页 |
| ·腐蚀时间对绒面 AZO 薄膜的影响 | 第32-38页 |
| ·腐蚀时间对薄膜结构的影响 | 第32-34页 |
| ·腐蚀时间对薄膜光学性能的影响 | 第34-35页 |
| ·腐蚀时间对薄膜电学性能的影响 | 第35-36页 |
| ·腐蚀时间对薄膜表面形貌的影响 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 沉积条件对绒面 AZO 薄膜性能的影响 | 第39-63页 |
| ·衬底温度对绒面 AZO 薄膜性能的影响 | 第39-45页 |
| ·衬底温度对薄膜结构的影响 | 第39-41页 |
| ·衬底温度对薄膜光学性能的影响 | 第41-43页 |
| ·衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第43页 |
| ·衬底温度对薄膜表面形貌的影响 | 第43-45页 |
| ·溅射功率对绒面 AZO 薄膜性能的影响 | 第45-51页 |
| ·溅射功率对薄膜结构的影响 | 第45-47页 |
| ·溅射功率对薄膜光学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·溅射功率对薄膜电学性能的影响 | 第48-49页 |
| ·溅射功率对薄膜表面形貌的影响 | 第49-51页 |
| ·工作压强对绒面 AZO 薄膜性能的影响 | 第51-57页 |
| ·工作压强对薄膜结构的影响 | 第51-53页 |
| ·工作压强对薄膜光学性能的影响 | 第53-54页 |
| ·工作压强对薄膜电学性能的影响 | 第54-55页 |
| ·工作压强对薄膜表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| ·退火温度对绒面 AZO 薄膜性能的影响 | 第57-62页 |
| ·退火温度对薄膜结构的影响 | 第57-59页 |
| ·退火温度对薄膜光学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·退火温度对薄膜电学性能的影响 | 第60-61页 |
| ·退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第69-70页 |
| 硕士期间参与的课题研究 | 第70页 |
