基于微带环缝谐振器的小功率微波微等离子体的特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·微波微等离子体源的研究 | 第11-13页 |
| ·微等离子体的特性研究 | 第13-15页 |
| ·本文研究内容和创新之处 | 第15页 |
| ·本文结构 | 第15-17页 |
| 第二章 微波等离子体和微带环缝谐振器的基本理论 | 第17-22页 |
| ·微波等离子体的基本概念 | 第17-18页 |
| ·等离子体放电技术 | 第18-19页 |
| ·直流放电技术 | 第18页 |
| ·射频放电技术 | 第18-19页 |
| ·微波放电技术 | 第19页 |
| ·微带环缝谐振器的工作原理 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 小功率微波微等离子体特性的研究内容和方法 | 第22-35页 |
| ·环缝谐振器的仿真与制作 | 第22-25页 |
| ·工作模式与等效模型 | 第25-28页 |
| ·工作模式 | 第25-26页 |
| ·电压与电流 | 第26页 |
| ·等效电路 | 第26-28页 |
| ·输入阻抗 | 第28-29页 |
| ·微等离子体阻抗 | 第29-30页 |
| ·磁场 | 第30-33页 |
| ·光谱 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 微波微等离子体实验和分析 | 第35-62页 |
| ·实验系统 | 第35-37页 |
| ·实验内容及分析 | 第37-61页 |
| ·同一磁场下,研究不同真空度的激励情况 | 第37-49页 |
| ·同一气压下,研究不同磁铁的激励情况 | 第49-52页 |
| ·研究磁场方向不同时的激励情况 | 第52-54页 |
| ·微等离子体激发前后谐振频率的变化 | 第54-55页 |
| ·激励出微波微等离子体时的反射系数 | 第55-57页 |
| ·微波微等离子体阻抗的计算 | 第57-59页 |
| ·光谱分析 | 第59-60页 |
| ·温度分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·本文总结 | 第62页 |
| ·工作展望 | 第62-64页 |
| 研究生期间发表论文 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
