| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·主要研究内容及论文结构安排 | 第14-16页 |
| 第二章 免驱动三轴 MEMS 陀螺理论分析与动力学建模 | 第16-22页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺工作原理 | 第16-17页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺动力学建模 | 第17-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 免驱动三轴 MEMS 陀螺结构设计与仿真分析 | 第22-39页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺的动力学参数分析 | 第22-28页 |
| ·扭转梁扭转刚度 | 第23-25页 |
| ·敏感结构角振动阻尼系数 | 第25-28页 |
| ·敏感结构转动惯量、固有频率 | 第28页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺敏感结构设计 | 第28-33页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺重要参数的仿真分析 | 第33-38页 |
| ·静力学分析 | 第34-36页 |
| ·模态分析 | 第36-37页 |
| ·谐响应分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 免驱动三轴 MEMS 陀螺加工工艺设计 | 第39-48页 |
| ·硅微机械加工工艺概述 | 第39-43页 |
| ·体硅加工技术 | 第39-42页 |
| ·表面微加工技术 | 第42-43页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺加工工艺流程及版图设计 | 第43-47页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺工艺流程 | 第43-44页 |
| ·版图设计规则及注意事项 | 第44-45页 |
| ·免驱动三轴 MEMS 陀螺版图设计 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 免驱动三轴 MEMS 陀螺信号检测电路设计 | 第48-61页 |
| ·微小电容检测方式概述 | 第48-49页 |
| ·电学特性分析 | 第49-51页 |
| ·检测电路的整体设计与实现 | 第51-57页 |
| ·整体设计方案 | 第51-52页 |
| ·脉冲激励模块 | 第52-53页 |
| ·C-V 转换模块 | 第53-55页 |
| ·调理放大模块 | 第55-56页 |
| ·滤波模块 | 第56-57页 |
| ·电路的测试 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 免驱动三轴 MEMS 陀螺信号分析与处理 | 第61-70页 |
| ·三轴角速率解算整体方案设计 | 第61-62页 |
| ·三轴角速率解算关键技术研究 | 第62-66页 |
| ·相位差解算 | 第62-64页 |
| ·俯仰、偏航角速率的解算 | 第64-66页 |
| ·三轴角速率解算方法验证 | 第66-69页 |
| ·偏航和横滚角速率输入时的算法验证 | 第67页 |
| ·俯仰和横滚角速率输入时的算法验证 | 第67-68页 |
| ·偏航、俯仰和横滚角速率输入时的算法验证 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第七章 结论与展望 | 第70-72页 |
| ·工作总结 | 第70-71页 |
| ·未来工作展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
