复合纳米薄膜制备及其摩擦学行为研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·摩擦理论及研究进展 | 第14-22页 |
| ·概述 | 第14-16页 |
| ·材料本体强化及表面微造型研究 | 第16页 |
| ·表界面材料改性 | 第16-22页 |
| ·润滑理论及研究进展 | 第22-25页 |
| ·润滑理论概述 | 第22-23页 |
| ·纳米润滑薄膜的特性 | 第23-25页 |
| ·本论文研究目的和内容 | 第25-27页 |
| 第二章 复合纳米薄膜设计及制备 | 第27-45页 |
| ·复合纳米薄膜设计 | 第27-30页 |
| ·DLC薄膜制备 | 第30-32页 |
| ·实验设备 | 第30-32页 |
| ·实验材料 | 第32页 |
| ·硬质薄膜制备 | 第32页 |
| ·软膜及弹性复合纳米薄膜制备 | 第32-38页 |
| ·SAM分子膜成膜机理 | 第32-35页 |
| ·硅烷偶联剂 | 第35-36页 |
| ·实验材料 | 第36-37页 |
| ·自组装薄膜制备方法 | 第37-38页 |
| ·自组装薄膜质量的影响因素研究 | 第38-44页 |
| ·反应时间对薄膜表面形貌的影响 | 第38-42页 |
| ·反应温度对薄膜表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| ·不同偶联剂对薄膜表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 复合纳米薄膜的性能表征研究 | 第45-63页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·表征设备介绍 | 第45-48页 |
| ·AFM测试原理 | 第45-47页 |
| ·其他表征设备 | 第47-48页 |
| ·复合纳米薄膜的表面形貌分析 | 第48-52页 |
| ·自组装薄膜的XPS分析 | 第52-57页 |
| ·DLC薄膜的RAMAN分析 | 第57-59页 |
| ·复合薄膜的接触角研究 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 复合纳米薄膜的摩擦学性能研究 | 第63-83页 |
| ·引言 | 第63-64页 |
| ·单晶硅的摩擦学测试 | 第64-66页 |
| ·DLC薄膜样品的摩擦学性能 | 第66-71页 |
| ·载荷对摩擦性能的影响 | 第66-68页 |
| ·滑动速度对摩擦性能的影响 | 第68-70页 |
| ·两种DLC薄膜的磨损试验研究 | 第70-71页 |
| ·分子自组装薄膜的摩擦学性能 | 第71-77页 |
| ·三明治结构复合纳米薄膜的摩擦学性能 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-83页 |
| 第五章 复合纳米薄膜的纳米力学性能研究 | 第83-111页 |
| ·引言 | 第83-84页 |
| ·设备介绍 | 第84-86页 |
| ·设备原理 | 第84页 |
| ·设备功能介绍 | 第84-86页 |
| ·理论基础 | 第86-90页 |
| ·复合薄膜力学性能测试 | 第90-98页 |
| ·硬度与弹性模量测试 | 第90-92页 |
| ·压入深度对材料力学性能测试的影响 | 第92-93页 |
| ·压入深度与接触刚度的关系 | 第93-95页 |
| ·加载速率对材料力学行为测试的影响 | 第95-98页 |
| ·针尖形貌的尺寸效应 | 第98-102页 |
| ·概述 | 第98-100页 |
| ·针尖效应的理论推导 | 第100-102页 |
| ·复合薄膜的界面结合力测试 | 第102-110页 |
| ·界面结合力概述 | 第102-103页 |
| ·实验部分 | 第103-109页 |
| ·不同加载速率下薄膜的耐划擦行为研究 | 第109-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 第六章 复合纳米薄膜的接触疲劳研究 | 第111-123页 |
| ·概述 | 第111-113页 |
| ·接触力学行为研究 | 第113-122页 |
| ·实验方法 | 第113-114页 |
| ·结果与讨论 | 第114-115页 |
| ·材料力学性能变化 | 第115-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 第七章 结论与展望 | 第123-127页 |
| ·论文的主要结论 | 第123-125页 |
| ·论文的主要贡献与创新点 | 第125页 |
| ·未来工作的展望 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-139页 |
| 致谢 | 第139-141页 |
| 攻读博士学位期间所取得的成果 | 第141-142页 |